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スピードコントローラ低流量タイプ クリーンルーム包装仕様 
樹脂  |
金属  |
シールゴム  |
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| 使用流体 | 空気 |
|---|---|
| 使用圧力範囲 | 0.1～0.9MPa |
| 逆止弁作動圧力 | 0.05MPa |
| 使用温度範囲 | 0～60℃(凍結なきこと) |
■チューブサイズ
| ミリサイズ(mm) | φ1.8, φ2, φ3, φ4, φ6, φ8, φ10 |
|---|
■ネジサイズ
| メートルネジ | M3×0.5, M5×0.8 |
|---|---|
| 管用テーパネジ | R1/8, R1/4 |
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駆動機器の速度制御弁で、低速シリンダの速度制御に最適。
- クリーン環境内の速度制御に最適なクリーンルーム包装を実施。フッ素系グリースを使用し、クリーンエアで清浄後、クリーンルーム(ISOクラス6相当)内にて包装。
- 低速シリンダの微細な低速制御が可能。
- 自由流は標準品と同等。復帰ストロークは高速駆動が可能。
