真空ポンプ対応ユニット
真空ポンプ対応ユニットVIP
流量センサ搭載タイプをラインナップ(業界初)。また、従来の圧力センサ搭載タイプと圧力センサ無しタイプも用意。
半導体関連装置(チップマウンタ、ハンドラ)や小型ワーク吸着搬送装置に最適。
特長
流量センサ搭載で、小型ワークの吸着確認が可能。
流量センサ搭載タイプをラインナップ(業界初)。また、従来の圧力センサ搭載タイプと圧力センサ無しタイプも用意。 半導体関連装置(チップマウンタ、ハンドラ)や小型ワーク吸着搬送装置に最適。
超小型でも大流量の真空切換が可能に。
-80kPa供給時、8.5L/min[ANR]以上
真空破壊エア流量調整の方法が選択可能に。
真空破壊エア流量調整ニードル付タイプの他に安価な真空破壊エア流量固定タイプ(0.5MPa供給時、9.5L/min[ANR]以上)も用意。
仕様
基本仕様
使用流体 | 空気(JIS B 8392-1:「等級1.2.1 ~ 2.4.3」準拠)、真空 |
---|---|
使用圧力範囲 | 0.3~0.7MPa |
使用真空圧力 | -90~0kPa |
使用温度範囲 | 5~50℃ (但し、凍結なきこと) |
使用湿度範囲 | 35~85%RH (但し、結露なきこと) |
保護構造 | IP40相当 |
耐振動性/衝撃性 | 50m/s2以下/150m/s2以下 |
給油 | 不要 |
耐圧性(エア供給回路) | 1.05MPa |
耐圧性(真空回路) | 0.2MPa |
※)耐圧性は、単に「製品が破損しない圧力」を表現するものであり、製品が正常に使用できる圧力とは異なります。
電磁弁仕様
定格電圧 | DC24V ±10% |
---|---|
消費電力 | 1.2W(LED付) |
サージ保護回路 | 有り(バリスタ) |
動作表示灯 | 導通時、赤色LED点灯 |
手動操作 | プッシュ&ロック式 |
真空供給用主弁仕様
作動方式 | パイロットバルブによる間接作動 |
---|---|
弁機能 | ノーマルクローズ |
真空供給エア流量(※1、※2、※3) | 10L/min[ANR](-80kPa供給時) |
応答時間(OFF→ON) | 7msec |
応答時間(ON→OFF) | 8.5msec |
※1)表中の数値は、真空ポートサイズ:φ4mmの場合のものであり、真空ポートサイズ:φ3mmの場合は15%、φ1.8mmの場合は50%流量が低下します。
※2)流量センサ記号:-A□005及び-A□010の場合、真空ポートサイズ:ø4mm、またはø3mmでは30%流量が低下します。
※3)真空供給エア流量は、真空側配管の径や長さ(配管抵抗など)により変わります。
※4)応答時間は、0.5MPa・定格電圧(100%)供給時の値です。
真空破壊用主弁仕様
作動方式 | 直接作動 |
---|---|
弁機能 | ノーマルクローズ |
応答時間(※4)(OFF→ON) | 3.5msec |
応答時間(ON→OFF) | 2.5msec |
※1)表中の数値は、真空ポートサイズ:φ4mmの場合のものであり、真空ポートサイズ:φ3mmの場合は15%、φ1.8mmの場合は50%流量が低下します。
※2)流量センサ記号:-A□005及び-A□010の場合、真空ポートサイズ:ø4mm、またはø3mmでは30%流量が低下します。
※3)応答時間は、0.5MPa・定格電圧(100%)供給時の値です。
真空破壊機能
破壊エア流量 | 真空破壊エア流量調整ニードル無しタイプ:9.5L/min[ANR]以上(0.5MPa供給時) |
---|---|
破壊エア流量 | 真空破壊エア流量調整ニードル付タイプ:約0~9.5L/min[ANR](0.5MPa供給時) |
※)真空破壊エア流量は、真空側配管の径や長さ(配管抵抗など)により変わります。
圧力表示無し圧力センサ仕様(-V1(アナログ出力))
定格電圧 | DC10.8~30V(含リップル) |
---|---|
消費流量 | 20mA |
圧力検出方法 | 拡散半導体圧力センサ |
耐圧力 | 1MPa |
アナログ出力・圧力検出範囲 | -100~0kPa |
アナログ出力・出力電圧 | 1~5V |
アナログ出力・ゼロ点電圧 | 1 ±0.04V |
アナログ出力・スパン電圧 | 4 ±0.04V |
アナログ出力・出力電流 | 1mA以下 |
アナログ出力・温度特性 | ±2%F.S.以下(基準温度25℃) |
アナログ出力・直線性 | ±0.5%F.S.以下 |
アナログ出力・出力インピーダンス | 1kΩ |
※)圧力の繰返し印加に伴う「ゼロ点電圧」、「スパン電圧」、及び「スイッチ出力設定値」の変化量は、±3%F.S.を許容範囲とします。
流量センサ仕様
電源電圧 | DC24V ±10% |
---|---|
消費電流 | 30mA以下(無負荷時) |
使用圧力範囲 | -90kPa~0.2MPa |
耐圧 | 0.3MPa |
アナログ出力 | 1~5V(ノンリニア特性、接続負荷インピーダンス50kΩ以上) |
圧力特性 | ±10%F.S.以下(基準温度25℃) |
温度特性 | ±0.6%F.S.以下(基準温度25℃) |
再現性(繰返精度) | ±2%F.S.以下 |
応答時間 | 5msec以下(センサ単体) |
出力インピーダンス | 1kΩ |
適用サイズ
真空ポートチューブサイズ
ミリサイズ(mm) | φ1.8, φ3, φ4 |
---|
エア供給ポートチューブサイズ
ミリサイズ(mm) | φ4, φ6, φ8 |
---|
真空供給ポートチューブサイズ
ミリサイズ(mm) | φ4, φ6, φ8 |
---|
注文案内
注文形式(例)
個別注意事項
警告
1.各部のネジはデジタルカタログを参照し、適正トルクで締付けてください。製品取付けの締付トルクは「固定方法」に、電磁弁の締付トルクは「フィルタエレメントの交換方法」に記載しております。適正なトルクで締付けないと、エア漏れ、製品の脱落、製品各部破損の原因となります。
注意
1.本製品には真空フィルタは付いておりません。真空フィルタは、当社真空フィルタシリーズを必ず併用してください。真空フィルタを使用しないと吸い込まれた塵・埃などが製品内部へ堆積し、真空性能低下や電磁弁の漏れ・作動不良などの原因となります。(推奨真空フィルタ:VFUシリーズ、VFJシリーズ)
真空ポンプ対応ユニットシリーズのよくある質問
FVUS011-NWや、FVXS-DW-1は、製品自体の形式ではなく製品に搭載された「センサ」の形式となります。製品の正式な形式は、本体にレーザーマーキング(またはラベリング)されています。FVUS011-**は真空発生器VK、FVXS-**は真空発生器VX(真空ポンプ対応ユニットVXP/VXPT)に搭載されたセンサの形式となります。
弊社の真空発生器総合タイプ(真空ポンプ対応ユニット)の形式は「V」から始まる形式となります。(VG…、VQ…など)
センサ形式は、FV…などで始まる形式で【PRESSURE SWITCH】と書かれている場合もあります。
センサ形式は、センサ付仕様のみに記載されています。
真空発生器総合タイプ(真空ポンプ対応ユニット)の形式およびセンサ形式の識別は、以下の写真を参考にしてください。
真空発生器VK(単体タイプ)
真空発生器VK(マニホールドタイプ)
マニホールドの場合、製品形式(VKM…)はブロックプレートの後側に記載されています。
真空発生器VX(真空ポンプ対応ユニットVX/VXP)(単体タイプ)
真空発生器VX(真空ポンプ対応ユニットVX/VXP)(マニホールドタイプ)
マニホールドの場合、製品形式(VXM…)はブロックプレートの後側に記載されています。
その他の真空発生器総合タイプ
製品名や外観が似ていますが、使用用途・目的が異なります。
真空発生器 総合タイプは、圧縮エアを供給することにより真空エアを発生させて制御を行う機器です。
一方、真空ポンプ対応ユニットは真空発生はせず、真空ポンプ等の別の真空源の真空エアを使用して、真空エアを制御する機器です。(ただし、破壊エア回路のパイロットバルブを駆動させるための圧縮エアの供給は必要です。)
また、ピスコの真空発生器には、小型で取付けやすい単体タイプもあります。(ただし、制御機能はありません。)
バルブを操作しない状態(ノーマル位置)での、バルブの位置を示します。
ノーマルクローズタイプ(略称N.C.)
ノーマル位置が常時閉。操作(または通電)すると開きます。
ノーマルオープンタイプ(略称N.O.)
ノーマル位置が常時開。操作(または通電)すると閉じます。
弁を操作しない状態で、入口と出口が通じています。
圧力の表し方は2種類あり、「絶対圧」と「ゲージ圧」によるものがあります。
絶対圧
絶対真空の圧力を0基準にした圧力が「絶対圧力」です。
空気圧の流量計算などに使用されます。
単位の最後に「abs」がつきます(例:10 kPa abs)
ゲージ圧
計測場所、計測時の大気圧を圧力0として測った圧力が「ゲージ圧力」です。
大気圧を基準に、1cm2の面積にどれだけの圧力がかかっているかを表します。一般的な圧力計に使われる圧力です。大気圧より高いゲージ圧を「正圧」、低い圧力を「負圧」と呼びます。
トルは、SI単位であるパスカル(Pa)(ヘクトパスカル(hPa))が使用される前に、汎用的に使われていた圧力や真空度を表す単位です。(絶対真空は0Torr、標準大気は760Torrとなります)
トルは「水銀柱ミリメートル (mmHg)」 と同じ単位の別名でもあり、非SI単位ですが、現在も多くの分野で使用されています。
1Torr = 133.32Pa、
1気圧 = 1013hPa = 1.01325x105 Pa = 760Torr
※) パスカルは、天気予報で使われるヘクトパスカルの1/100。
この商品に関するお問い合わせ
用途や機能などの諸条件に適した商品をご提案することも可能です。お気軽にお問い合わせください。
近くの営業所でも承っております。
PISCO製品に関するよくある質問をまとめました。お問い合わせの前にご覧ください。