真空ポンプ対応ユニット

真空ポンプ対応ユニットVQP

RoHS2対応

大流量の制御に最適な31.5mm幅真空ポンプ対応ユニット。

オプション

  • 流路に銅を主成分とする金属材料を使用していません。
  • シールゴム材質にHNBRまたはFKMを使用しています。※)一部商品は流路のみの対応となります。

特長

大流量の制御に最適。

大流量の制御に最適な31.5mm幅真空ポンプ対応ユニット。

真空供給用バルブタイプはノーマルクローズとノーマルオープンを用意。

圧力センサには、見やすい2画面デジタル表示圧力センサを用意。

出力により2色で表示。主電源:圧力数値(赤色・緑色)、サブ画面:設定値(橙色)。

電源のマイナス側が共通の基準電位として使われる場合に、 マイナスコモン仕様の選択が可能に。

「流路に銅を主成分とする金属材料不使用」・「低濃度オゾン対策」を必要とする分野向けのタイプを用意。

エア流路の金属部材質は流路に銅を主成分とする金属材料不使用、シールゴム及び可動部の潤滑は低濃度オゾン対策、超乾燥エア対策を考慮しました。

仕様

基本仕様

使用流体 空気(JIS B 8392-1:「等級1.2.1~2.4.3」準拠)、真空
使用圧力範囲 0.3~0.7MPa
使用真空圧力 -100~0kPa
使用温度範囲 5~50℃(但し、凍結なきこと)
使用湿度範囲 35~85%RH(但し、結露なきこと)
耐振動性/耐衝撃性 50m/s2以下/ 150m/s2以下
保護構造 IP40相当
給 油 不要
耐圧性(エア供給回路) 1.05MPa
耐圧性(真空回路) 0.2MPa

※)耐圧性は、単に「製品が破損しない圧力」を表現するものであり、製品が正常に使用できる圧力とは異なります。

電磁弁仕様(DC24V)

定格電圧 DC24V ±10%
消費電力 0.55W(LED付)
サージ保護回路 有り(バリスタ)
動作表示灯 通電時、赤色LED点灯
手動操作 プッシュ&ロック式

電磁弁仕様(AC100V)

定格電圧 AC100V ±10%
消費電力 1.0VA(LED付)
サージ保護回路 有り(ブリッジダイオード)
動作表示灯 通電時、赤色LED点灯
手動操作 プッシュ&ロック式

真空供給用主弁仕様(ノーマルクローズ)

作動方式 パイロットバルブによる間接作動
応答時間(OFF→ON)(DC24V仕様) 10msec[15msec]
応答時間(OFF→ON)(AC100V仕様) 10msec[15msec]

※)応答時間は、0.5MPa・定格電圧(100%)供給時の値です。

真空供給用主弁仕様(ノーマルオープン)

作動方式 パイロットバルブによる間接作動
応答時間(ON→OFF)(DC24V仕様) 15msec[20msec]
応答時間(ON→OFF)(AC100V仕様) 21msec[26msec]

※)応答時間は、0.5MPa・定格電圧(100%)供給時の値です。

真空破壊用主弁仕様

作動方式 パイロットバルブによる間接作動
弁機能 ノーマルクローズ
応答時間(OFF→ON)(DC24V仕様) 10msec[12msec]
応答時間(OFF→ON)(AC100V仕様) 10msec[12msec]
応答時間(ON→OFF)(DC24V仕様) 10msec[10msec]
応答時間(ON→OFF)(DC24V仕様) 16msec[16msec]

※)応答時間は、0.5MPa・定格電圧(100%)供給時の値です。

真空フィルタ仕様

エレメント材質 PVF(ポリビニールホルマール)
濾過度※ 5μm (捕集効率:95%)
エレメント表面積 1,507mm2

※)当社測定条件によります。

真空破壊機能

破壊エア流量 0~50L/min[ANR] (0.5MPa供給時)

※)真空破壊エア流量は、真空側配管の径や長さ(配管抵抗など)により変わります。

圧力センサ仕様

定格圧力範囲 -100kPa~100kPa
耐圧 50kPa
適用流体 空気、非腐蝕性/不燃ガス
供給電源 DC12V~24V (リップル±10%以下)
消費電流 40mA以下 (無負荷時)
スイッチ出力・出力方式 NPNオープンコレクタ出力(VUS-33R-N2)、PNPオープンコレクタ出力(VUS-33R-P2)
スイッチ出力・出力点数 2点出力 (SW1, SW2)
スイッチ出力・最大負荷電流 125mA
スイッチ出力・最大供給電圧 DC30V (VUS-33R-N2)、DC24V(VUS-33R-P2)
スイッチ出力・内部電圧降下 1.5V以下
繰返し性 ±0.2%F.S. ±1digit以下
応差 ワンポイント設定モード・ヒステリシスモード・ウインドコンパレータモード:調整可能
応答時間 50ms, 250ms, 500ms, 1000ms, 2000ms, 3000msから選択
出力短絡保護
デジタル表示 メインディスプレイ:3色(赤・緑・橙)表示、表示回数:1回/秒、2回/秒、5回/秒から選択可能
表示精度 ±2%F.S. ±1digit以下 (周囲温度:25±3°C時)
動作表示灯 橙色 (1 & 2表示灯) OUT1 OUT2
保護構造 IP40
周囲温度範囲 動作時:0~50°C、保存時:-10~60°C (結露と凍結なきこと)
周囲湿度範囲 動作時及び保存時:35~85%RH (結露なきこと)
耐電圧 AC1000V 1分間(リード線とケース間)
絶縁抵抗 50MΩ以下 (DC500V) (リード線とケース間)
耐振動 複振幅1.5mm或いは100m/s2、1分間10Hz ~ 150Hz、X、Y、Z各方向2時間
耐衝撃 100m/s2 X、Y、Z各方向3回
温度特性 ±2%F.S.以下 (at Ta=25°C、範囲0~+50°C)
ケーブル仕様 耐油ケーブル (0.15mm2)

適用サイズ

真空ポートチューブサイズ

ミリサイズ(mm) φ10, φ12, φ16

エア供給ポートチューブサイズ

ミリサイズ(mm) φ6

排気ポートチューブサイズ

ミリサイズ(mm) φ6

真空供給ポートチューブサイズ

ミリサイズ(mm) φ10, φ12, φ16

注文案内

注文形式(例)

個別注意事項

警告

1.各部のネジはデジタルカタログを参照し、適正トルクで締付けてください。製品取付けの締付トルクは「固定方法」に、フィルタカバーの締付トルクは「4.フィルタエレメントの交換方法」に記載しております。適正なトルクで締付けないと、エア漏れ、製品の脱落、製品各部破損の原因となります。

真空ポンプ対応ユニットシリーズのよくある質問

この商品に関するお問い合わせ

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