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スピードコントローラ クリーンルーム包装仕様 

樹脂 ![]() |
金属 ![]() |
シールゴム ![]() |
使用流体 | 空気 |
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使用圧力範囲 | 0.1~0.9MPa (スプリングリターン仕様:0.05~0.5MPa) |
逆止弁作動圧力 | 0.05MPa (スプリングリターン仕様:0.02MPa) |
使用温度範囲 | 0~60℃(凍結なきこと) |
■チューブサイズ
ミリサイズ(mm) | φ3, φ4, φ6, φ8, φ10, φ12 |
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インチサイズ | φ1/8, φ5/32, φ3/16, φ1/4, φ5/16, φ3/8, φ1/2 |
■ネジサイズ
メートルネジ | M3×0.5, M5×0.8 |
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管用テーパネジ | R1/8, R1/4, R3/8, R1/2 |
最もスタンダードな駆動機器の速度制御弁。
- クリーン環境内の速度制御に最適なクリーンルーム包装を実施。フッ素系グリースを使用し、クリーンエアで清浄後、クリーンルーム(ISOクラス6相当)内にて包装。