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流量センサFUS20
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1060流量センサ小型流量センサ真空関連機器技術資料■ 圧力損失特性（ニードル弁無しタイプ）00.010.020.030.040.050.060.070.080.090.100.50.40.30.20.1流量 （ℓ/min）圧力損失 （kPa）圧力損失 （kPa）圧力損失 （kPa）圧力損失 （kPa）圧力損失 （kPa）圧力損失 （kPa）0.1MPa0.3MPa0.5MPaFUS20-□□-□005-□□□□FUS20-□□-□020-□□□□FUS20-□□-□050-□□□□FUS20-□□-□100-□□□□FUS20-□□-□200□□□□FUS20-□□-□010-□□□□0.1MPa0.3MPa0.5MPa00.020.040.060.080.10.120.140.160.180.2010.80.60.40.2流量 （ℓ/min）0.1MPa0.3MPa0.5MPa00.050.10.150.20.250.30.350.40.450.5021.510.5流量 （ℓ/min）0.1MPa0.3MPa0.5MPa00.20.40.60.811.21.41.6543210流量 （ℓ/min）0.1MPa0.3MPa0.5MPa00.511.522.533.544.50186420流量 （ℓ/min）0.1MPa0.3MPa0.5MPa00.511.522.533.544.5502015105流量 （ℓ/min）圧力損失 （kPa）圧力損失 （kPa）圧力損失 （kPa）FUS20-□□-□500-□□□□FUS20-□□-□201-□□□□FUS20-□□-□101-□□□□0.1MPa0.3MPa0.5MPa012345605040302010流量 （ℓ/min）0.1MPa0.3MPa0.5MPa012345678010080604020流量 （ℓ/min）0.1MPa0.3MPa0.5MPa051015202530020015010050流量 （ℓ/min）
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