流量センサFUS20
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真空関連機器Series流量センサFUS201059真空破壊ユニット真空用フィルタハンディマノメータデジタルプレッシャゲージ小型真空レギュレータLED表示付圧力センサ小型圧力センサ大型デジタル表示付圧力センサ30大型デジタル表示付圧力センサ31流量センサ8mm幅LED表示付圧力センサ真空パッド真空関連機器真空ポンプ対応ユニット真空発生器真空ポンプフリーホルダ落下防止弁パッド直付フィルタ■ 構造図(ニードル弁無しの場合)■ 構造図(ニードル弁一体型の場合)液晶カバー(アクリル樹脂)液晶スイッチ(EPDM)基板スペ-サ(PC)モジュール押え(PA)ワンタッチ継手センサガスケット(FKM)樹脂ボディ(PA)センサチップ(半導体チップ)整流板(ステンレス)ポートフィルタ(ステンレス)センサ基板(アルミナ)電子基板ケース(ABS)ツマミ(PBT)ロックナット(黄銅、ニッケルメッキ)ニードルガイド(黄銅、ニッケルメッキ)ニードル(黄銅、ニッケルメッキ(*2))固定ピン(ステンレス)Oリング(FKM)カートリッジ継手継手固定ピン(ステンレス)ニードル弁ボディ(PA)ポートフィルタ(ステンレス)オリフィス(黄銅、ニッケルメッキ)継手固定ピン(ステンレス)センサ部(*1)*1. センサ部の主要部品についてはニードル弁無しの構造図を参照してください。*2. FUS20…005/010/020については、ステンレスとなります。*3. FUS20…005/010/020については、PTFEとなります。

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