流量センサFUS20

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1058流量センサ小型流量センサ真空関連機器技術資料■ 仕様項目フルスケール流量005010020050100200500101201流量レンジ(*1)005500mℓ/min●0101ℓ/min●0202ℓ/min●0505ℓ/min●10010ℓ/min●20020ℓ/min●50050ℓ/min●101100ℓ/min●201200ℓ/min●接続口径4ø4ワンタッチ●●●●●●6ø6ワンタッチ●●●●●●●8ø8ワンタッチ●●●10ø10ワンタッチ●●ニードル弁一体型N　　　 　(*9)●●●●●●●●●流量表示(*1)(*2)表示の種類4桁＋4桁　2色LCD表示範囲F0~500mℓ/min0~1000mℓ/min0~2.00ℓ/min0~5.00ℓ/min0~10.00ℓ/min0~20.0ℓ/min0~50.0ℓ/min0~100.0ℓ/min0~200ℓ/minR-500~500mℓ/min-1000~1000mℓ/min-2.00~2.00ℓ/min-5.00~5.00ℓ/min-10.00~10.00ℓ/min-20.0~20.0ℓ/min-50.0~50.0ℓ/min-100.0~100.0ℓ/min-200~200ℓ/min表示分解能1mℓ/min0.01ℓ/min0.1ℓ/min1ℓ/min積算機能(*3)表示範囲9999999mℓ99999.99ℓ999999.9ℓ9999999ℓ表示分解能1mℓ0.01ℓ0.1ℓ1ℓ積算パルス出力レート5mℓ10mℓ0.02ℓ0.05ℓ0.1ℓ0.2ℓ0.5ℓ1ℓ2ℓ使用条件適用流体(*4)清浄空気（JIS B 8392-1.1.1 ~ 5.6.2）、圧縮空気（JIS B 8392-1.1.1 ~ 1.6.2）、窒素ガス最高使用圧力0.7MPa最低使用圧力-0.09MPa保証耐圧力1MPa使用周囲温度・湿度0 ~ 50ºC、90%RH以下使用流体温度0 ~ 50ºC（結露なきこと）精度精度保証範囲3 ~ 100%F.S.直線性(表示・アナログ出力)±3%F.S.以下（2次側大気開放、25ºC）圧力特性±5%F.S.以下（-0.09 ~ 0.7MPa、ただし2次側大気開放基準）温度特性±0.2%F.S.／ºC以下（15 ~ 35ºC、ただし25ºC基準）再現性(くり返し精度)±1%F.S.以下応答時間(*5)50ms以下出力スイッチ出力N出力2点（NPNオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下）P出力2点（PNPオープンコレクタ出力、50mA以下、電圧降下2.4V以下）アナログ出力V1 ~ 5V電圧出力1点（接続負荷インピーダンス50kΩ以上）A4 ~ 20mA電流出力1点（接続負荷インピーダンス0 ~ 300Ω以下）電源電圧(*6)VDC12 ~ 24V（10.8 ~ 26.4V）ADC24V（21.6 ~ 26.4V）消費電流(*7)50mA以下リード線ø3.7　AWG26相当×5芯（コネクタ接続）、絶縁体外径ø1.0保有機能流量表示、流量表示ピークホールド、スイッチ出力、アナログ出力　他取付取付方向縦・横自在導入直管部不要保護構造IEC規格 IP40保護回路(*8)電源逆接続保護、スイッチ出力逆接続保護、スイッチ出力負荷短絡保護EMC指令適合品*表中の（*1）~（*9）につきましては、左ページ下に記載しておりますので、そちらをご覧ください。

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