流量センサFUS20
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真空関連機器Series流量センサFUS201073真空破壊ユニット真空用フィルタハンディマノメータデジタルプレッシャゲージ小型真空レギュレータLED表示付圧力センサ小型圧力センサ大型デジタル表示付圧力センサ30大型デジタル表示付圧力センサ31流量センサ8mm幅LED表示付圧力センサ真空パッド真空関連機器真空ポンプ対応ユニット真空発生器真空ポンプフリーホルダ落下防止弁パッド直付フィルタ入力機器入力機器入力機器■ニードル弁一体型タイプ個別注意事項1.設計時・選定時注意■ 漏れがゼロを必要とするストップ弁としては使用できません。製品の仕様上ある程度の漏れを許容しています。■ ニードル弁の流路内の発塵はゼロではありませんので、発塵が問題となる回路では中空糸膜フィルタ(MFU)などのクリーンフィルタを合わせてご使用ください。2.取付・据付・調整時注意■ ツマミの全閉・全開時はツマミを強く廻し過ぎないようにしてください(0.05N·m 以下)。また、ニードル調整は、ロックナットを摘んで行わないようにしてください。ニードルのカジリや破損の原因となります。3.使用・メンテナンス時注意■ 振動により、ニードルが回転し、流量が変化する場合があります。■ サージ電流回り込みによる破損を防止するには下記のような対策を行ってください。①.電磁弁・リレーなどの誘導負荷となる出力系と流量センサなどの入力系の電源は分離させてください。②.別電源とすることが出来ない場合は、すべての誘導負荷に対して直接サージ吸収用の素子をお取り付けください。PLCなどに接続されているサージ吸収素子はその機器のみを保護するものであるとお考えください。③.さらに、下図のように電源配線の各所にサージ吸収素子を接続し、不特定箇所での断線に備えてください。尚、機器類をコネクタ接続されている場合、通電中にコネクタを外すと上記現象により、出力回路が破損することもありますので、コネクタの脱着は必ず電源を切ってから行ってください。■ 流量範囲を超えた場合でも、アナログ出力されます。表示については、「Hi」または「Lo」表示となります。但し、精度保証外となりますので、あらかじめご了承ください。■ 表示部を押さないでください。故障の原因となります。

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