流量センサFUS20

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真空関連機器Series流量センサFUS201055真空破壊ユニット真空用フィルタハンディマノメータデジタルプレッシャゲージ小型真空レギュレータLED表示付圧力センサ小型圧力センサ大型デジタル表示付圧力センサ30大型デジタル表示付圧力センサ31流量センサ8mm幅LED表示付圧力センサ真空パッド真空関連機器真空ポンプ対応ユニット真空発生器真空ポンプフリーホルダ落下防止弁パッド直付フィルタ●高速応答：50msec以下。シリコーンマイクロマシニングを応用した白金センサチップの採用で、高速応答を実現。タクトタイムの短縮に貢献。●双方向での流体計測が可能。双方向タイプは、流れ方向を任意に設定し計測することが可能。配管取付けの自由度がアップするとともに、逆流検知用としても使用可能。●自由な取付け姿勢。上下左右どの方向にも取付け可能。●直管部不要。新提案の整流機構により、上流側・下流側ともに直管部が不要。順方向双方向逆方向エルボ取付けO.K

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