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流量センサFUS20
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真空関連機器Series流量センサFUS201071真空破壊ユニット真空用フィルタハンディマノメータデジタルプレッシャゲージ小型真空レギュレータLED表示付圧力センサ小型圧力センサ大型デジタル表示付圧力センサ30大型デジタル表示付圧力センサ31流量センサ8mm幅LED表示付圧力センサ真空パッド真空関連機器真空ポンプ対応ユニット真空発生器真空ポンプフリーホルダ落下防止弁パッド直付フィルタ横取付け（貫通穴使用）ブラケット取付け（専用ブラケット使用）縦取付け（底面めねじ使用）ブラケット単品形番：FUS20-B1取付けネジ取付けネジ取付けネジ※.取付けネジは締付けトルク0.5N·mとしてください。パネルマウント取付け取付けネジ※1.取付けネジは締付けトルク0.06N·mとしてください。※2.組付け前に配管をしてください。※3.組付け後に配管をされると過大な応力がかかり、部品を破損する恐れがあります。※4.パネルマウント時には、極力製品に振動が加わらないようにしてください。V出力インピーダンス ： Ro＝1kΩ負荷内部インピーダンス ： Rx＝1MΩ出力値＝（1－ ）×100%RoRo＋Rx ＝（1－ ）×100%1kΩ1kΩ＋1MΩ出力値の誤差約0.1%例）.■取付・据付・調整時の注意1.配管について注意■ 配線の前に必ず配管・取付けを行ってください。■ 流体の流れ方向とボディに指示された方向を合せて、配管してください。■ 配管の前には、配管内の異物・切粉などを除去するため、エアブロ－を行って清掃してください。異物・切粉などが大量に混入すると整流ユニットやセンサチップを破損することがあります。■ チューブは確実に挿入し、チューブを引いて抜けないことを確認してから、ご使用ください。また、チューブは専用カッタで必ず直角に切断してからご使用ください。2.取付について注意■ 流量表示は液晶を用いております。角度によって見えにくくなる場合があります。■ 本製品は上下左右どの方向にも取付ることができます。3.配線について危険■ 電源電圧及び出力は、仕様電圧でご使用ください。仕様電圧以上の電圧を印加すると、誤作動、センサの破損および感電や火災の原因となります。また、出力の定格を超える負荷は、使用しないでください。出力の破損や火災の原因となります。警告■ 配線時に線の色の確認を行ってください。誤配線はセンサの破壊・故障および誤作動につながりますので、取扱説明書にて、配線の色をご確認の上、配線ください。■ 配線の絶縁を確認してください。他の回路と接触、地絡、端子間絶縁不良がないようにしてください。センサに過電流が流れ込み、破損の原因となります。■ 本製品に使用する電源は交流電源とは絶縁された定格内のDC安定化電源を使用ください。絶縁されていない電源は、感電の危険があります。安定化されていない電源では、定格を超え、本製品を破損させたり精度を悪化させる場合があります。■ コネクタを接続後は、必ずコネクタカバーを取付けてください。■ 直接ケーブルの引出し部およびコネクタ部にストレスがかからないようにしてください。■ 配線は制御装置・機械装置を停止し、電源を切った状態で行ってください。急激に作動させると予期しない動作をする場合があり、危険です。まず、制御装置・機械装置を停止状態のまま、通電試験を行い、目的としたスイッチデータ設定を行ってください。作業前、作業中は人体・工具・装置に帯電した静電気を放電させて、作業を行ってください。可動部にはロボット用線材のように耐屈曲性能のある線材を接続配線してください。■ 電源電圧範囲を超えて使用しないでください。使用範囲以上の電圧を印加したり、交流電源を印加すると、破裂したり焼損したりする恐れがあります。■ 本製品および配線は、強電線などのノイズ源から離して設置してください。電源線にのるサージは別に対策をとってください。表示や出力が変動する場合があります。■ 負荷を短絡しないでください。破裂したり焼損したりする恐れがあります。■ 接続負荷についてアナログ出力電圧出力タイプの出力インピーダンスは約1kΩです。接続負荷のインピーダンスが低い場合、出力値の誤差が大きくなります。接続負荷のインピーダンスでの誤差を確認の上ご使用ください。（アナログ出力電流出力タイプは対象外です。）
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