流量センサFUS20

17/60

1070流量センサ小型流量センサ真空関連機器技術資料圧力センサ（スイッチ）流量センサ（スイッチ）設定値以上 ON大気圧側ONOFF高真空側流量0側流量大側吸着確認設定値以下 ONONOFF2.使用環境について危険■ 防爆性環境爆発性ガス雰囲気中では、絶対に使用しないでください。防爆構造になっていませんので、爆発火災を引起こす可能性があります。警告■ 腐蝕性環境亜硫酸ガスなどの腐蝕性ガス雰囲気では使用しないでください。■ 周囲温度・流体温度周囲温度・流体温度は0～50℃の範囲内でご使用ください。なお、温度範囲内であっても周囲温度・流体温度が急激に変化し結露が発生する場所では使用しないでください。■ 使用圧力範囲・使用流量範囲最高使用圧力以上または最低使用圧力以下、使用流量範囲外での使用は故障の原因になりますので、仕様範囲内でご使用ください。■ 防滴環境本製品の保護構造はIP40相当です。水分、塩分、塵埃及び切り粉がある場所、加圧、減圧環境下では設置しないでください。温度変化の激しい場所や、高湿度の環境では本体内部に結露による障害を発生する恐れがありますので使用できません。3.流量単位について注意■ 本製品の流量は温度、圧力の影響を受けない質量流量で計測しています。単位はℓ/minですが、これは質量流量を20℃ 1気圧（101kPa）での体積流量に換算した場合の表示です。4.過流量について注意■ 測定範囲の2倍程度の過流量が流れてもセンサには問題ありませんが、最大使用圧力近くでの動圧がかかった場合（一次側と二次側の間で最高使用圧以上の圧力差が加わった場合）、センサに異常をきたす恐れがあります。モレ検査のワーク充填時など、動圧がかかる場合は、必ずバイパス回路や、しぼりを設けてセンサに動圧がかからないようにしてください。5.吸着確認などでご使用の場合注意■ 本製品を吸着確認などでご使用の場合は、使用真空圧力、吸着ノズル径より流量レンジを選定してください。000ページの「流量センサ選定方法」を参照してください。■ 本製品を吸着確認などでご使用の場合は吸入側の上流に必ずご使用状況に応じたエアフィルタを取付け、異物の吸入を防止してください。■ 本製品を吸着確認などでご使用の場合は大気の露点と本製品の周囲温度を考慮して、配管内で結露しない条件でご使用ください。■ 本製品を吸着確認などでご使用の場合、吸着ノズルから本製品の間の配管容積によって、応答速度が遅れる場合があります。その場合は、配管容積を小さくするなどの対策をとってください。■ 吸気などの真空用途で使用する場合、ワンタッチ継手部付近での曲げを行わないでください。ワンタッチ継手付近のチューブに応力が加わる場合はインサートリングをチューブに挿入後、ワンタッチ継手へ差し込んでご使用ください。■ 吸着確認用センサを圧力センサ（スイッチ）から流量センサ（スイッチ）へ置き換えた場合、センサ出力（スイッチ出力）の理論が反転するイメージになります（下図参照）。PLCのシーケンスプログラムについて変更・修正する必要が出ますので、ご注意ください。特に、装置電源投入時に、元圧・真空源が供給されていない場合、流量センサ（スイッチ）では、「流量0」＝「センサ出力（スイッチ出力）ON」の状態となりますので、PLCのシーケンスプログラムなどにて問題がでないようにしてください。

※このページを正しく表示するにはFlashPlayer10.2以上が必要です