流量センサFUS20

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1068流量センサ小型流量センサ真空関連機器技術資料〈流れなし〉温度分布対称R1R1R2R2温度抵抗値RhヒータR2R1温度センサ②FLOW温度センサ①〈流れあり〉RhR2R1V outV out5V電圧2.5V温度分布の対称崩れるR1R2温度抵抗値R1R2V outV out5V電圧2.5V■ 計測原理FUS20シリーズでは、シリコンマイクロ加工技術を応用した、白金センサチップ（3mm×3.5mm）を採用しております。センサ部は、シリコン基板から熱的に絶縁されており、熱容量が極めて小さいため、高速応答で高感度です。センサ部には、2つの温度センサがヒータを挟んで配置されています。温度センサの材質には、温度によって抵抗値が変化する、白金を用いています。ヒータに通電加熱すると、流れの無い場合は、温度分布がヒータを中心に対称となります。流れを受けた場合は、温度分布の対称性が崩れ、ヒータ上流側の温度は低下し、ヒータ下流側の温度は上昇します。この温度差は、温度センサの抵抗値の差となって現れ、流量によって変化します。また、逆方向に流れた場合は、温度差（抵抗値の差）が逆転します。この方式を用いると、双方向の流量を検知することができます。また、この方式は比較的小流量の検出に適しています。

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