流量センサFUS20

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真空関連機器Series流量センサFUS201065真空破壊ユニット真空用フィルタハンディマノメータデジタルプレッシャゲージ小型真空レギュレータLED表示付圧力センサ小型圧力センサ大型デジタル表示付圧力センサ30大型デジタル表示付圧力センサ31流量センサ8mm幅LED表示付圧力センサ真空パッド真空関連機器真空ポンプ対応ユニット真空発生器真空ポンプフリーホルダ落下防止弁パッド直付フィルタ[スイッチ出力機能について]用途に応じて、７種類のスイッチ動作から選ぶことができます。CH1、CH2にそれぞれ適応できます。動作パターン名称説明動作波形LCD表示ウインド動作①（範囲内ON）指定した範囲内でスイッチ出力がONします。流量 ONOFFON設定値OFF設定〈サブ表示部〉ウインド動作②（範囲外ON）指定した範囲外でスイッチ出力がONします。流量ONOFFON設定値OFF設定ヒステリシス動作①（流量小側ON）ヒステリシス（応差）を任意に設定して、指定した流量以上でスイッチ出力がOFFします。流量ONOFFON設定値OFF設定ヒステリシス動作②（流量大側ON）ヒステリシス（応差）を任意に設定して、指定した流量以上でスイッチ出力がONします。流量ONOFFON設定値OFF設定積算出力①（積算流量以上ON）設定した積算値以上でスイッチ出力がONします。積算流量ONOFF積算設定値積算出力②（積算流量以上OFF）設定した積算値以上でスイッチ出力がOFFします。積算流量ONOFF積算設定値積算パルス出力既定積算値毎に積算パルスを出力します。既定積算値については仕様「積算機能」を参照してください。（1044ページ）積算流量ONOFF既定積算値40msecスイッチ動作OFFスイッチ動作OFF状態です。

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