落下防止弁
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1310真空関連機器技術資料落下防止弁直付形フィルタ真 空シリンダエアピンセット真空パッドECV落下防止弁øP2M1HM2BLT(A1)A2øP1M1HM2A1A2LBøP2管用テーパネジの場合メートルネジの場合真空発生器側パッド(ワーク)側真空発生器側パッド(ワーク)側øP3øP3RoHS指令CAD(2D&3D)■ 交換用エレメントスプリングスプリング形式落下防止弁形式ECV01-SECVM3-FM3ECV02-SECVM4-FM4, ECVM5-FM5ECV03-SECVM6-FM6, ECVM10-FM10, ECV01-F01弁体弁体形式落下防止弁形式ECV01-VECVM3-FM3ECV02-VECVM4-FM4, ECVM5-FM5ECV03-VECVM6-FM6, ECVM10-FM10, ECV01-F01ストッパストッパ形式落下防止弁形式ECV01-RECVM3-FM3ECV02-RECVM4-FM4, ECVM5-FM5ECV03-RECVM6-FM6, ECVM10-FM10, ECV01-F01フィルタフィルタ形式落下防止弁形式ECV01-EECVM3-FM3ECV02-EECVM4-FM4, ECVM5-FM5ECV03-EECVM6-FM6, ECVM10-FM10, ECV01-F01■エレメントの交換作業は、本製品の構造図を確認し下記の注意を良く読んで理解してから行ってください。また、交換時に落下防止弁構成部品を紛失しないように注意して行ってください。 【取付け、取外しの注意】 ①取付け・取外しは、適正な工具を使用してください。 ②取付けの際には、ネジサイズ毎の締付トルク(下表)を参考に締付てください。  表.締付トルクネジサイズ締付トルクM6×0.750.8 ~ 1.0N·m(ECVM3-FM3結合部)M8×0.751.0 ~ 2.0N·m(ECVM4-FM4, ECVM5-FM5結合部)M10×13.0 ~ 4.0N·m(ECVM6-FM6, ECVM10-FM10, ECV01-F01結合部)単位:mm形 式M1M2A1A2BLøP1øP2øP3対辺HT弁体最低作動吸込流量(ℓ/min[ANR])弁体作動後吸込流量(ℓ/min[ANR])有効断面積(㎟)質量(g)自由流側ECVM3-FM3M3×0.5M3×0.52.54.518.415.95.58980.521.30.74.9ECVM4-FM4M4×0.7M4×0.72.94.519.9177.81011100.651.31.67.9ECVM5-FM5M5×0.8M5×0.834.519.916.97.81011100.551.31.66.6ECVM6-FM6M6×1M6×14528.124.18.81213.4120.5131.34.013ECVM10-FM10M10×1.5M10×1.57.5104032.51418.521.5192.5131.34.823ECV01-F01R1/8Rc1/88833.529.5ー1415.814ー131.34.810

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