真空用フィルタ

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904真空関連機器技術資料真空破壊ユニット真空用フィルタハンディマノメータデジタルプレッシャゲージパッド直付フィルタ小型圧力センサ大型デジタル表示付圧力センサ31大型デジタル表示付圧力センサ30流量センサ小型流量センサLED表示付圧力センサ小型真空レギュレータ8mm幅LED表示付圧力センサ■ 対象真空パッド一覧ご使用の前に必ずお読みください。安全上のご注意、掲載商品の注意事項についてはP.43〜P.49、真空の共通注意事項についてはP.55〜P.56をそれぞれご確認ください。警　告1.真空用フィルタのフィルタエレメントは定期的に保守点検を行ってください。エレメントの目詰まりにより性能低下、またはトラブルの原因となります。エレメントの交換作業は本文のダストの除去方法及び真空用フィルタ交換エレメントをよく理解しフィルタの内圧を大気圧状態にし安全を確認の上行ってください。注　意1.本体取付け、取り外しの注意　 ①製品の取付け・取外しは、適正な工具を使用してください。　 ②取付けの際には、ネジサイズ毎の締付けトルク（下表）を参考に締付けてください。表.締付けトルクネジサイズ締付けトルクM4×0.70.6 ~ 0.7N·mM6×11.5 ~ 2N·m2.真空用フィルタの使用環境は真空の共通注意事項の注意7, 8（P.55~P.56）を確認してください。 個別注意事項形　式パッド形状パッドサイズ(mm)ホルダ形状（ロングストロークを含む）VPAVPBVPCVPDVPFVPMAVPMBVPMCVPMD－VFF15-M4スタンダードタイプ（一般形、深形）ø10, ø15○ベローズタイプø10, ø15○多段ベローズタイプø10○ソフトタイプø4, ø6, ø8, ø10, ø15○ソフトベローズタイプø6, ø8, ø10, ø15○滑り止めタイプø10○フラットタイプø10, ø15○吸着痕防止タイプø10○VFF15-M6スタンダードタイプ（一般形、深形）ø20, ø25, ø30, ø40, ø50○スポンジタイプø10, ø15, ø20, ø25, ø30, ø35, ø50○ベローズタイプø20, ø25, ø30, ø40, ø50○多段ベローズタイプø20, ø30, ø40, ø50○長円タイプ2×4 ~ 8×30○ソフトタイプø20, ø30, ø40○ソフトベローズタイプø20○滑り止めタイプø20, ø30, ø40, ø50○フラットタイプø20, ø25, ø30○吸着痕防止タイプø20, ø30○VFF30-M6スタンダードタイプ（一般形、深形）ø20, ø25, ø30, ø40, ø50○スポンジタイプø10, ø15, ø20, ø25, ø30, ø35, ø50○ベローズタイプø20, ø25, ø30, ø40, ø50○多段ベローズタイプø20, ø30, ø40, ø50○長円タイプ2×4 ~ 8×30○ソフトタイプø20, ø30, ø40○ソフトベローズタイプø20○滑り止めタイプø20, ø30, ø40, ø50○フラットタイプø20, ø25, ø30○吸着痕防止タイプø20, ø30○

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