真空シリンダ
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478スタンダードタイプスポンジタイプベローズタイプ多段ベローズタイプソフトタイプソフトベローズタイプ滑り止めタイプ薄物用タイプフラットタイプロングストローク真 空シリンダエアピンセット長 円タイプ吸着痕防止タイプ真空パッド真空関連機器技術資料9.標準パッドホルダ及び小型パッドホルダの隔壁部を利用し取付け固定を行う際は、本文の寸法図を確認の上、下記の締付けトルクを参考に適正な工具を使用し、ホルダ外径六角部を利用し締付け緩みがないことを確認してください。パッドホルダタイプ標 準小 型パッドホルダ形状VPAVPC, VPD,VPF,VPHC,VPHD,VPHDWVPEVPMAVPMC,VPMDVPMEナットサイズ(㎜)締付けトルク(N·m)M3×0.5——0.7——0.7M4×0.5———1 ~ 1.2——M4×0.71 ~ 1.2—————M5×0.51.5 ~ 2——1.5 ~ 2——M5×0.8——1 ~ 1.5——1 ~ 1.5M6×0.752 ~ 3——2 ~ 3—M8×0.752.5 ~ 3.51.8 ~ 2.4—2.5 ~ 3.5—M8×1—1.8 ~ 2.4————M10×15 ~ 74.5 ~ 6—5 ~ 74 ~ 6—M12×112 ~ 148 ~ 10————M14×118 ~ 214.5 ~ 6————M16×1—2 ~ 3————M20×119 ~ 21—————M22×1—16 ~ 20————M24×240 ~ 50—————M30×2—42 ~ 54————10.スタンダードタイプのパッド径:ø80, ø100, ø150, ø200㎜とベローズタイプのパッド径:ø80, ø100㎜のパッドゴムを交換する際は、本文の構成図を確認の上、下記の締付けトルクを参考に適正な工具を使用し、ホルダ外径六角部を利用し締付け緩みがないことを確認してください。●表.締付けトルクネジサイズ(㎜)締付けトルク(N·m)M4×0.70.5 ~ 0.7M5×0.811.フィルタ付パッドのフィルタエレメントの交換は、本文の真空パッド構成図を確認の上行ってください。12.継手部の取扱いは、継手の共通注意事項をご確認ください。13.スプリング式パッドホルダ取付けの際には、シャフト部(右図A部参照)にスパナなどを掛けずに取付けを行ってください。また、パッド交換の際には、シャフトの六角ボルト部をスパナなどで固定し交換を行ってください。シャフトのキー溝部(右図B部参照)が変形し動作不良の原因となる可能性があります。14.固定用ナットを適正な締付けトルク以上で締めますと、隔壁部が変形してシャフトの作動不良の原因となります。15.真空パッドはゴムの特性上、時間経過に伴い、ゴムに含まれる添加剤などが表面に粉状に浮き出てくる可能性があります。B}A

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