パッドホルダ単体
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01019.52B26.1015.19.52BS26.105.21SB1L2L3L1L2L3L3-23-2S3[2]VPLFC-T4-2-3J5VPLFC-T4-2-4J5VPLFC-T4-5-3J5VPLFC-T4-5-4J5VPLFC-T4-10-3J5VPLFC-T4-10-4J5VPLFC-T4-15-3J5VPLFC-T4-15-4J5VPLFC-T4-20-3J5VPLFC-T4-20-4J5VPLFC-T8-2-3J5VPLFC-T8-2-4J5VPLFC-T8-5-3J5VPLFC-T8-5-4J5VPLFC-T8-10-3J5VPLFC-T8-10-4J5VPLFC-T8-15-3J5VPLFC-T8-15-4J5VPLFC-T8-20-3J5VPLFC-T8-20-4J5※1)パッドホルダ隔壁部取付ナットの締付トルクは、5~6N·mとなります。※2)実用ストロークは、[ ]内寸法となります。※3)質量は、公式サイトをご覧ください。VPLFCNEWスプリング式 真空取出口:上、ワンタッチ継手タイプ低発塵VPLFC-T4■■■ø9øD2-Hex.13M10×1ø6ø2ø2.7形 式チューブ外径VPLFC-T8■■■ø9øDL1L22-Hex.13M10×1ø6ø3.2ø4L3(N)øD3434343434343434343450.756.766.776.786.751.757.767.777.787.721.52624.5293429.53934.539.5442621.52924.53429.53934.54439.51.3〜1.8346[5]1.3〜2.44011[10]1.3〜3.35016[15]1.3〜4.26021[20]1.3〜5.1703[2]1.3〜1.8346[5]1.3〜2.44011[10]1.3〜3.35016[15]1.3〜4.26021[20]1.3〜5.1701266ストロークスプリング力ストローク(㎜)2,5,10,15,20単位:mmパッド接続記号-T4-T8

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