パッドホルダ単体
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■-50kPaの真空度で使用する場合 吸込流量は、約52ℓ/min[ANR]となりますので、 使用可能な落下防止弁形式:ECVM3-M3, ECVM4-M4, ECVM5-M5, ECVM6-M6, ECV01-01が求められます。 ECVM3-M3の場合の使用台数及び未吸着箇所:21台(※2)、 ECVM4-M4, ECVM5-M5の場合の使用台数及び未吸着箇所:10台、 ECVM6-M6, ECV01-01の場合の使用台数及び未吸着箇所:4台 までを許容することが求められます。※2. ECVM3-M3は、吸込流量だけで計算すると、理論上:25台まで対応できることになりますが、上述の通り、1台当たりの真空度の低下が-2kPa)aPk-(度空真)aPk-(度空真(ℓ/min[ANR])■-50kPaの真空度で使用する場合 吸込流量は、約6ℓ/min[ANR]となりますので、 使用可能な落下防止弁形式:ECVM3-M3, ECVM4-M4, ECVM5-M5が求められます。 ECVM3-M3の場合の使用台数及び未吸着箇所:3台、 ECVM4-M4, ECVM5-M5の場合の使用台数及び未吸着箇所:1台 までを許容することが求められます。例2. VQH20 • • •(カタログデータ)3▲ 落下防止弁の選定35選定方法下記表の弁体作動最低吸込流量と例題のグラフより、1台の真空発生器に何台までの落下防止弁が搭載できるのかを求めます。ECV01-01ECVM3-M32.066.526(ℓ/min[ANR])93110ECVM6-M6ECVM4-M4ECVM5-M55.05.02.0(※1)7060504030201000100908070605040302010005ECVM10-M1013.013.013.010吸込流量(ℓ/min[ANR])1520252040吸込流量(ℓ/min[ANR])608010030120How to select Vacuum equipment真空用機器の選定方法カタログデータより、完成した右のグラフを参考にし、上記の弁体作動最低吸込流量の表より使用できる落下防止弁の形式と最大使用数量が求められます。カタログデータより、完成した右のグラフを参考にし、上記の弁体作動最低吸込流量の表より使用できる落下防止弁の形式と最大使用数量が求められます。弁体作動最低吸込流量(ℓ/min[ANR])未吸着時真空低下量最大値(kPa)※1.未吸着時真空低下量は、真空圧力、吸込流量により変化します。2.0kPaの値は、安全を考慮した数値ですので、実際の低下量とは異なります。例1. VUL07 • • •(カタログデータ)になるため、25台全てが未吸着状態であると考えた場合、真空度:-93 + (2 × 25) = -43kPaになってしまいます。そのため、-50kPaで使用する場合:-93 + (2 × X)≦-50 X≦21.5∴最大未吸着箇所:21台と言うことになります。吸込流量到達真空度(kPa)到達真空度(kPa)吸込流量

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