1040真空パッド真空関連機器技術資料フラットタイプ吸着痕防止タイプスポンジタイプ長 円タイプホルダ単体フリーホルダ落下防止弁直付形フィルタ真 空シリンダエアピンセットパッド接続記号 -M6（オプション）（オプション）フリーホルダ落下防止弁パッド直付タイプフィルタフリーホルダ落下防止弁パッド直付タイプフィルタパッド接続形状ネジ込み（パッドネジ接続）パッドネジ付セット形式VP20F5-M69VP25F5-M69VP30F5-M69パッド径ø20mmø25mmø30mmフラットパッド+パッドネジセットパッドネジ形式FVPLF30-M69パッドネジパッド形式VP20F5VP25F5VP30F5パッド径ø20mmø25mmø30mmパッド※–S3仕様は、継手の形式が異なります。–S3仕様時の継手形式が必要なお客様は、最寄りの営業所へお問い合わせください。※ホルダのみをご希望の場合の注文形式は下記の通りとなります。価格につきましては、最寄りの営業所へお問い合わせください。■注文形式（例）VPC-M6-6-6B-S31369 1：ホルダ形式、3：ストローク（スプリング式のみ。但しVPFタイプは除く）、6：真空取出口サイズ・形状、9：-S3仕様
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