1073 真空パッドSeries真空パッド 吸着痕防止タイプ真空パッド真空ポンプ対応ユニット真空発生器真空ポンプVPDød1ø101ø16EHex.122-Hex.17M14×1BL2L1S2-414ø16EHex.122-Hex.17M14×1BL2L1S2-413.9VPD103Q5-M69VPD203Q5-M69VPD303Q5-M69Hex.12Hex.12M6×1M6×1スプリング式 真空取出口：横、メネジ スタンダードタイプ単位：mm形 式パッド外径ødBL1L2EストロークSスプリング力(N)パッド接続記号VPD10-6Q5-M69ー64.1412018.564.07.1-M4VPD10-10Q5-M669.14625102.05.2VPD10-15Q5-M679.1512530152.05.9VPD10-20Q5-M695.1583437201.14.8VPD20-6Q5-M69206440.92018.567.012.6-M6VPD20-10Q5-M67046.924.5103.310.0VPD20-15Q5-M68051.92529.5153.310.4VPD20-20Q5-M69658.93436.5202.08.7VPD30-6Q5-M69306440.92018.567.012.6VPD30-10Q5-M67046.924.5103.310.0VPD30-15Q5-M68051.92529.5153.310.4VPD30-20Q5-M69658.93436.5202.08.7※.寸法表中、形式内の5にはパッド樹脂材質が入ります。パッド樹脂材質につきましてはP.1050を参照ください。※.金属部材質に銅系金属不使用仕様とシール部材質にFKM仕様をご希望のお客様は、形式末尾の9が“対応品あり”を表しております。また、記号：-S3を忘れずにご記入ください。※.パッドホルダ隔壁部取付けナットの締付けトルクは、4.5~6N·mとなります。RoHS指令銅系不使用品も用意CAD（2D&3D）ストローク（㎜）6,10,15,20
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