1070真空パッド真空関連機器技術資料吸着痕防止タイプスポンジタイプ長 円タイプホルダ単体フリーホルダ落下防止弁直付形フィルタ真 空シリンダエアピンセットVPMDVPMD1øD2-38.51615.514CE2-Hex.12Hex.10M10×1448.5ø101Hex.10øD2-38.51617.313.9CE2-Hex.12M10×1450.2ødVPMD10-4Q569VPMD20-4Q569VPMD30-4Q569Hex.12Hex.1212-38.51615.5142-Hex.12Hex.10M10×1448.5ø101Hex.102-38.51617.313.92-Hex.12M10×1450.2ødVPMD10-4Q5-M59VPMD20-4Q5-M59VPMD30-4Q5-M59Hex.12Hex.12M5×0.8M5×0.8スプリング式 真空取出口：横、バーブ継手内蔵ミニタイプスプリング式 真空取出口：横、メネジ ミニタイプ単位：mm形 式パッド外径ødチューブ内径øDECスプリング力(N)パッド接続記号VPMD10-4Q5-3B9ー213.461〜1.3-M4VPMD10-4Q5-4B92.514.97VPMD10-4Q5-6B94VPMD20-4Q5-3B920213.461〜1.3-M6VPMD20-4Q5-4B92.514.97VPMD20-4Q5-6B94VPMD30-4Q5-3B930213.461〜1.3VPMD30-4Q5-4B92.514.97VPMD30-4Q5-6B94※.寸法表中、形式内の5にはパッド樹脂材質が入ります。パッド樹脂材質につきましてはP.1050を参照ください。※.金属部材質に銅系金属不使用仕様とシール部材質にFKM仕様をご希望のお客様は、形式末尾の9に-S3をご記入ください。※.パッドホルダ隔壁部取付けナットの締付けトルクは、4~6N·mとなります。単位：mm形 式パッド外径ødスプリング力(N)パッド接続記号VPMD10-4Q5-M59ー1〜1.3-M4VPMD20-4Q5-M59201〜1.3-M6VPMD30-4Q5-M59301〜1.3※.寸法表中、形式内の5にはパッド樹脂材質が入ります。パッド樹脂材質につきましてはP.1050を参照ください。※.金属部材質に銅系金属不使用仕様とシール部材質にFKM仕様をご希望のお客様は、形式末尾の9に-S3をご記入ください。※.パッドホルダ隔壁部取付けナットの締付けトルクは、4~6N·mとなります。RoHS指令銅系不使用品も用意CAD（2D&3D）RoHS指令銅系不使用品も用意CAD（2D&3D）ストローク（㎜）4ストローク（㎜）4
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