1064真空パッド真空関連機器技術資料吸着痕防止タイプスポンジタイプ長 円タイプホルダ単体フリーホルダ落下防止弁直付形フィルタ真 空シリンダエアピンセットVPOCL9BM14×12-Hex.174ød13.9S1Hex.12Hex.12VPOC203Q5-M6VPOC303Q5-M6M6×1スプリング式 真空取出口：上、メネジ カバー無しタイプ単位：mm形 式パッド外径ødBLストロークSスプリング力(N)パッド接続記号VPOC20-20Q5-M62060.951.9201.5〜4.9-M6VPOC20-30Q5-M673.964.9301.1〜4.8VPOC20-40Q5-M686.977.9401.0〜4.5VPOC20-50Q5-M699.990.9500.9〜4.5VPOC30-20Q5-M63060.951.9201.5〜4.9VPOC30-30Q5-M673.964.9301.1〜4.8VPOC30-40Q5-M686.977.9401.0〜4.5VPOC30-50Q5-M699.990.9500.9〜4.5※.寸法表中、形式内の5にはパッド樹脂材質が入ります。パッド樹脂材質につきましてはP.1050を参照ください。※.パッドホルダ隔壁部取付けナットの締付けトルクは、4.5~6N·mとなります。RoHS指令CAD（2D&3D）ストローク（㎜）20,30,40,50
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