1052真空パッド真空関連機器技術資料吸着痕防止タイプスポンジタイプ長 円タイプホルダ単体フリーホルダ落下防止弁直付形フィルタ真 空シリンダエアピンセット単位：mm形 式パッド外径ødチューブ外径øD取付ネジMBLチューブエンドC対辺H1対辺H2パッド接続記号VPA10Q5-6J9－－ー－－ー－－-M4VPA20Q5-3J203M12×150.619.910.91412-M6VPA20Q5-4J94VPA20Q5-6J96M14×141.619.511.71714VPA30Q5-3J303M12×150.619.910.91412VPA30Q5-4J94VPA30Q5-6J96M14×141.619.511.71714※.寸法表中、形式内の5にはパッド樹脂材質が入ります。パッド樹脂材質につきましてはP.1050を参照ください。※.金属部材質に銅系金属不使用仕様とシール部材質にFKM仕様をご希望のお客様は、形式末尾の9が“対応品あり”を表しております。また、記号：-S3を忘れずにご記入ください。※.パッドホルダ隔壁部取付けナットの締付けトルクは、下記の通りとなります。▪パッド径：ø10mm▶12~14N·m、▪パッド径：ø20~30mm▶18~21N·mVPAM12×1Hex.122-Hex.14ø10ø611.718.51840.12-414H22-H1MødøDCB18L2-413.9VPA10Q569VPA20Q569VPA30Q56911Hex.12Hex.12固定式 真空取出口：上、ワンタッチ継手内蔵スタンダードタイプVPAHex.102-Hex.10M8×0.75ø10ø441715192-214ødøDHex.122-Hex.14M12×147.971819.92-413.9VPA10Q569VPA20Q569VPA30Q56911Hex.12Hex.12固定式 真空取出口：上、バーブ継手内蔵スタンダードタイプ単位：mm形 式パッド外径ødチューブ内径øDパッド接続記号VPA10Q5-6B9－－-M4VPA20Q5-4B9202.5-M6VPA20Q5-6B94VPA30Q5-4B9302.5VPA30Q5-6B94※.寸法表中、形式内の5にはパッド樹脂材質が入ります。パッド樹脂材質につきましてはP.1050を参照ください。※.金属部材質に銅系金属不使用仕様とシール部材質にFKM仕様をご希望のお客様は、形式末尾の9に-S3をご記入ください。※.パッドホルダ隔壁部取付けナットの締付けトルクは、下記の通りとなります。▪パッド径：ø10mm▶2.5~3.5N·m、▪パッド径：ø20~30mm▶12~14N·mRoHS指令銅系不使用品も用意CAD（2D&3D）RoHS指令銅系不使用品も用意CAD（2D&3D）
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