1201 真空パッドSeries真空パッド 長円タイプ真空パッド真空ポンプ対応ユニット真空発生器真空ポンプVPLFC5×30-3E56VPLFC6×10-3E56VPLFC6×20-3E56VPLFC6×30-3E56VPLFC8×20-3E56VPLFC8×30-3E56M14×12-Hex.17L3B5L2L122CS2-4ø12øD0.6911Hex.12ø8YX単位：mm形 式パッドサイズチューブ外径øDBL1L2L3チューブエンドCストロークSスプリング力(N)パッド接続記号XYVPLFC5×30-5E5-3J530375.726.531.542.510.96［5］4.5〜6.5-M6VPLFC5×30-5E5-4J4VPLFC5×30-5E5-6J677.111.7VPLFC5×30-10E5-3J385.731.536.552.510.911［10］4.5〜8.2VPLFC5×30-10E5-4J4VPLFC5×30-10E5-6J687.111.7VPLFC5×30-15E5-3J395.736.541.562.510.916［15］4.5〜9.9VPLFC5×30-15E5-4J4VPLFC5×30-15E5-6J697.111.7VPLFC6×10-5E5-3J610375.726.531.542.510.96［5］4.5〜6.5VPLFC6×10-5E5-4J4VPLFC6×10-5E5-6J677.111.7VPLFC6×10-10E5-3J385.731.536.552.510.911［10］4.5〜8.2VPLFC6×10-10E5-4J4VPLFC6×10-10E5-6J687.111.7VPLFC6×10-15E5-3J395.736.541.562.510.916［15］4.5〜9.9VPLFC6×10-15E5-4J4VPLFC6×10-15E5-6J697.111.7ストローク（㎜）5,10,15RoHS指令CAD（2D&3D）
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