真空パッドベローズタイプ
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S2030405020304050203040502030405020304050E4154678041546780415467804154678041546780B80.693.6106.6119.680.693.6106.6119.684.697.6110.6123.691.6104.6117.6130.693.6106.6119.6132.61L2L※4)寸法表中、形式内の8には樹脂アタッチメント材質が入ります。樹脂アタッチメント材質につきましてはP.808を参照してください。※5)パッドゴム材質:ニトリルゴム(N)と導電性NBR(低抵抗タイプ)(NE)は、低濃度オゾン対策を目的とする用途には適しておりません。※6)パッドホルダ隔壁部取付ナットの締付トルクは、4.5~6N·mとなります。94SBEVPODVPOD20■B■-M6■■VPOD25■B■-M6■■VPOD30■B■-M6■■VPOD40■B■-M6VPOD50■B■-M620253040501919233032877ødHex.14ødパッド外径M14×12-Hex.17M6×1L1L268.581.594.5107.568.581.594.5107.572.585.598.5111.579.592.5105.5118.581.594.5107.5120.5ø100.5ø150.5ø200.5(N)VPOD20-20B5-M6781.5〜4.9VPOD20-30B5-M6781.1〜4.8VPOD20-40B5-M6781.0〜4.5VPOD20-50B5-M6780.9〜4.5VPOD25-20B5-M6781.5〜4.9VPOD25-30B5-M6781.1〜4.8VPOD25-40B5-M6781.0〜4.5VPOD25-50B5-M6780.9〜4.5VPOD30-20B5-M6781.5〜4.9VPOD30-30B5-M6781.1〜4.8VPOD30-40B5-M6781.0〜4.5VPOD30-50B5-M6780.9〜4.5VPOD40-20B5-M6781.5〜4.9VPOD40-30B5-M6781.1〜4.8VPOD40-40B5-M6781.0〜4.5VPOD40-50B5-M6780.9〜4.5VPOD50-20B5-M6781.5〜4.9VPOD50-30B5-M6781.1〜4.8VPOD50-40B5-M6781.0〜4.5VPOD50-50B5-M6780.9〜4.5※1)寸法表中、形式内の5にはパッドゴム材質が入ります。パッドゴム材質につきましてはP.808を参照してください。※2)寸法表中、形式内の7には吸着痕防止用樹脂アタッチメントが必要な場合、記号:-Qをご記入ください。※3)吸着痕防止樹脂アタッチメントを装着した時の全長寸法は、上記寸法表中Bに下表の数値を加算してください。パッド外径(㎜)加算寸法(㎜) 真空パッドSeries形 式ストロークスプリング力ストローク(㎜)20,30,40,50ø250.8ø301単位:mmパッド接続記号-M6スプリング式 真空取出口:横、メネジタイプカバー無し

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