真空パッドベローズタイプ
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S666BE※4)寸法表中、形式内の8には樹脂アタッチメント材質が入ります。樹脂アタッチメント材質につきましてはP.808を参照してください。※5)金属部材質にS3仕様とシール部材質にFKMまたはHNBR仕様をご希望のお客様は、形式末尾のが“対応品あり”を表しております。※6)パッドゴム材質:ニトリルゴム(N)と導電性NBR(低抵抗タイプ)(NE)は、低濃度オゾン対策を目的とする用途には適しておりません。※7)パッドホルダ隔壁部取付ナットの締付トルクは、4.5~6N·mとなります。304050パッド外径(㎜)加算寸法(㎜)また、記号 : -S3を忘れずにご記入ください。73.1505679.12389.16168105.15780.186.163306896.1112.1755982.16588.1327098.1114.1777.0〜12.618.520103.3〜10.024.53.3〜10.429.525152.0〜8.736.534207.0〜12.618.5203.3〜10.01024.53.3〜10.4152529.5202.0〜8.73436.57.0〜12.618.52024.5103.3〜10.03.3〜10.4152529.52.0〜8.7203436.5ødøD2.542.542.542.542.542.542.542.542.542.542.542.54L1L2(N)L3870ø100.5ø150.5ø200.5ø250.8ø301単位:mmパッド接続記号VPD30-6B5-4B78VPD30-6B5-6B78VPD30-10B5-4B78VPD30-10B5-6B78VPD30-15B5-4B78VPD30-15B5-6B78VPD30-20B5-4B78VPD30-20B5-6B78VPD40-6B5-4BVPD40-6B5-6BVPD40-10B5-4BVPD40-10B5-6BVPD40-15B5-4BVPD40-15B5-6BVPD40-20B5-4BVPD40-20B5-6BVPD50-6B5-4BVPD50-6B5-6BVPD50-10B5-4BVPD50-10B5-6BVPD50-15B5-4BVPD50-15B5-6BVPD50-20B5-4BVPD50-20B5-6B※1)寸法表中、形式内の5にはパッドゴム材質が入ります。パッドゴム材質につきましてはP.808を参照してください。※2)寸法表中、形式内の7には吸着痕防止用樹脂アタッチメントが必要な場合、記号:-Qをご記入ください。※3)吸着痕防止樹脂アタッチメントを装着した時の全長寸法は、上記寸法表中Bに下表の数値を加算してください。形 式パッド外径チューブ内径ストロークスプリング力-M6

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