真空パッドベローズタイプ
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C10.93L4-22EDø61BSBCS662L※4)寸法表中、形式内の8には樹脂アタッチメント材質が入ります。樹脂アタッチメント材質につきましてはP.808を参照してください。※5)金属部材質にS3仕様とシール部材質にFKMまたはHNBR仕様をご希望のお客様は、形式末尾のが“対応品あり”を表しております。※6)パッドゴム材質:ニトリルゴム(N)と導電性NBR(低抵抗タイプ)(NE)は、低濃度オゾン対策を目的とする用途には適しておりません。※7)パッドホルダ隔壁部取付ナットの締付トルクは、4.5~6N·mとなります。66.171.11081.197.166.171.11581.197.1パッド外径(㎜)加算寸法(㎜)18.518.64319.918.621.619.9204818.6255319.918.621.619.9346018.618.54319.92018.64819.918.6532519.918.6346019.94.0〜7.111.7102.0〜5.22510.911.7152.0〜5.93010.911.710.937201.1〜4.811.710.94.0〜7.111.710.925102.0〜5.211.710.930152.0〜5.911.710.937201.1〜4.811.7863ødøD346346346346346346346346M14×12-Hex.17ø16E1L3E1L2(N)E2ø100.5ø150.5また、記号 : -S3を忘れずにご記入ください。形 式VPD10-6B5-3J78VPD10-6B5-4J78VPD10-6B5-6J78VPD10-10B5-3J78VPD10-10B5-4J78VPD10-10B5-6J78VPD10-15B5-3J78VPD10-15B5-4J78VPD10-15B5-6J78VPD10-20B5-3J78VPD10-20B5-4J78VPD10-20B5-6J78VPD15-6B5-3J78VPD15-6B5-4J78VPD15-6B5-6J78VPD15-10B5-3J78VPD15-10B5-4J78VPD15-10B5-6J78VPD15-15B5-3J78VPD15-15B5-4J78VPD15-15B5-6J78VPD15-20B5-3J78VPD15-20B5-4J78VPD15-20B5-6J78※1)寸法表中、形式内の5にはパッドゴム材質が入ります。パッドゴム材質につきましてはP.808を参照してください。※2)寸法表中、形式内の7には吸着痕防止用樹脂アタッチメントが必要な場合、記号:-Qをご記入ください。※3)吸着痕防止樹脂アタッチメントを装着した時の全長寸法は、上記寸法表中Bに下表の数値を加算してください。 真空パッドSeriesVPD10■B■■■■■VPD15■B■■■■■Hex.12チューブ外径ødパッド外径チューブエンドストロークスプリング力ストローク(㎜)6,10,15,20単位:mmパッド接続記号-M4

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