C52B26.09SSB3L2L4L4-21LC10.91117L1L2L3VPLFC20-5S5-3JVPLFC20-5S5-4JVPLFC20-5S5-6JVPLFC20-10S5-3JVPLFC20-10S5-4JVPLFC20-10S5-6JVPLFC20-15S5-3JVPLFC20-15S5-4JVPLFC20-15S5-6JVPLFC25-5S5-3JVPLFC25-5S5-4JVPLFC25-5S5-6JVPLFC25-10S5-3JVPLFC25-10S5-4JVPLFC25-10S5-6JVPLFC25-15S5-3JVPLFC25-15S5-4JVPLFC25-15S5-6Jø12øD2-Hex.17M14×1ødø8Hex.12チューブエンドストロークスプリング力80.281.62090.291.6100.2101.680.281.62590.291.6100.2101.626.531.542.515.531.536.552.536.541.562.526.531.542.515.531.536.552.536.541.562.56［5］4.5〜6.511.710.911［10］4.5〜8.211.710.916［15］4.5〜9.911.710.96［5］4.5〜6.511.710.911［10］4.5〜8.211.710.916［15］4.5〜9.911.7形 式パッド外径チューブ外径VPLFC20-■S■■VPLFC25-■S■■VPLFC30-■S■■VPLFC35-■S■■VPLFC50-■S■■ødøD346346346346346346RoHS指令CAD（2D&3D）ストローク（㎜）5,10,15L4(N)単位：mmパッド接続記号-M6 真空パッドSeries
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