真空ポンプ対応ユニットVIP

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464VIP真空ポンプ対応ユニット真空パッド真空関連機器技術資料■ 流量センサ仕様■ 真空破壊用主弁仕様■ 真空破壊機能■ 圧力表示無し圧力センサ仕様電源電圧DC24V ±10%消費電流30mA以下（無負荷時）使用圧力範囲-90kPa～0.2MPa耐　圧0.3MPaアナログ出力1～5V（ノンリニア特性、接続負荷インピーダンス50kΩ以上）圧力特性±10%F.S.以下（基準温度25℃）温度特性±0.6%F.S.／°C以下（基準温度25℃）再現性（繰返精度）±2%F.S.以下応答時間5msec以下（センサ単体）出力インピーダンス1kΩ作動方式直接作動弁機能ノーマルクローズ応答時間OFF→ON3.5msecON→OFF2.5msec※1.）表中の数値は、真空ポートサイズ：ø4mmの場合のものであり、真空ポートサイズ：ø3mmの場合は15%、ø1.8mmの場合は50%流量が低下します。※2.）流量センサ記号：-A005及び-A010の場合、真空ポートサイズ：ø4mm、またはø3mmでは30%流量が低下します。※3.）応答時間は、0.5MPa・定格電圧（100%）供給時の値です。破壊エア流量真空破壊エア流量調整ニードル無しタイプ：9.5ℓ/min［ANR］以上（0.5MPa供給時）真空破壊エア流量調整ニードル付タイプ：約0～9.5ℓ/min［ANR］（0.5MPa供給時）※）真空破壊エア流量は、真空側配管の径や長さ（配管抵抗など）により変わります。-V1（アナログ出力）定格電圧DC10.8～30V（含リップル）消費流量20mA圧力検出方法拡散半導体圧力センサ耐圧力1MPaアナログ出力圧力検出範囲-100～0kPa出力電圧1～5Vゼロ点電圧1 ±0.04Vスパン電圧4 ±0.04V出力電流1mA以下温度特性±2%F.S.以下（基準温度25℃）直線性±0.5%F.S.以下出力インピーダンス1kΩ※）圧力の繰返し印加に伴う「ゼロ点電圧」、「スパン電圧」、及び「スイッチ出力設定値」の変化量は、±3%F.S.を許容範囲とします。