真空ポンプ対応ユニットVIP

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472VIP真空ポンプ対応ユニット真空パッド真空関連機器技術資料■ フィルタエレメントの交換方法■ 圧力センサの注意事項▶P.992をご覧ください。■ 流量センサの特性▶P.1083, P.1084をご覧ください。■ 流量センサの注意事項▶P.1085, P.1086をご覧ください。 使用上の注意■フィルタエレメント（形式：VN013B19）の交換は、真空供給用バルブの固定ネジを適正なプラスドライバを使用し、取外して交換を行います。フィルタエレメント交換後、真空供給用バルブのパッキンが脱落していないことを確認の上、0.15～0.2N·mの締付けトルクにて固定ネジを締め、確実に取付けを行ってください。真空供給用パイロットバルブフィルタエレメント固定ネジの締付けトルク：0.15～0.2N·m