真空ポンプ対応ユニットVIP
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460VIP真空ポンプ対応ユニット真空パッド真空関連機器技術資料業界初装置の吸着搬送ヘッドへの搭載に最適な制御ユニット真空ポンプ対応ユニットVIP●チップマウンタ、ハンドラーなどの半導体関連装置に最適。●小型ワーク吸着搬送装置に最適。●流量センサの搭載により、小型ワークの吸着確認が可能。●超小型でも大流量の真空切換が可能。●真空破壊エア流量調整の方法が選択可能に。流量センサ搭載タイプのラインナップ(業界初)により、小型ワークの吸着確認を可能に。また、従来の圧力センサ搭載タイプとセンサ無しタイプも用意。-80kPa供給時、8.5ℓ/[ANR]以上。真空破壊エア流量調整ニードル付タイプの他に安価な真空破壊エア流量固定タイプ(0.5MPa供給時、9.5ℓ/[ANR]以上(弊社初))を用意。(本体底側)流量センサ

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