真空ポンプ対応ユニットVNP
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------------D24-----------L側St. 1-St. 2-St. 3-St. 4-St. 5-St. 6-St. 7-St. 8-St. 9-St. 10-ステーション番号426真空破壊用エア供給ポート(PS)真空供給ポート(PV)St. 2St. 1■注文仕様書記入例ユニット形式VNPR側真空ポートサイズ真空供給ポート(PV)サイズ①②③⑤-④R側L側※) ステーション番号は、真空ポートを手前に見てL(左)側よりSt. 1、真空ポート(V)St. 4St. 3真空破壊用エア供給ポート(PS)サイズ電圧仕様St. 2…St. 10となります。圧力センサ仕様マニホールド連数R1R1

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