真空ポンプ対応ユニットVNP
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~~~~~~~○○○○○ーーーーーー○ー○○○○ーーーーー○○○ー○ー○○○○○○○○○○○○ー○○○○○○ーー○○○○○ー○コンプレッサ破壊流量調整用ニードルタイプ・基本性能を重視。Ren・大流量を要する、大ワーク、多リークワークに最適な真空ユニット。・使用目的に合わせた機種選定が可能。・バリエーション豊富なモジュールタイプ。・破壊圧力と流量を最適にする調整機能付真空発生器。・真空システムのハイサイクル化を実現。・小型ワークに適した小型、軽量、高速応答真空発生器。・チップマウンタ、ハンドラーなどの半導体関連装置に最適。・取付けスペースに制約のあるお客様に最適。・真空破壊時間を大幅に短縮。小型ワークに最適なマニホールド専用真空発生器。Renドライユニット真空破壊用電磁弁真空発生用電磁弁真空発生器切換弁サイレンサフィルタ圧力センサ総合タイプ真空破壊ユニット特 長ノズル径(㎜)真空発生弁真空破壊弁パイロット式直動式パイロット式直動式ø0.5ø1.0ø0.7ø2.0ø0.5ø1.2ø0.5ø1.2ø0.5ø1.0ø0.4ø0.6ø0.5ø1.0ワンタッチ継手総合タイプによるシステム真空発生器による吸着搬送システムに必要な機器(真空発生用電磁弁、真空破壊用電磁弁、絞り弁、圧力センサ、フィルタ)を一体化し、組み付け作業の合理化、コンパクト化を実現します。15Information of vacuum carrier system by Vacuum Generator stand-alone and combination type真空発生器 単体タイプ・総合タイプによる吸着搬送システム(例)のご案内真空用フィルタVFR真空発生器VVV 真空破壊ユニットVLF真空発生器 総合タイプVG・VK・VJ・VX・VQ・VZ・VN圧力センサVUS11,VUS12総合タイプの機種構成VGVQVKVJVXVNRenVZ■総合タイプの回路図真空フィルタ単体タイプマニホールドタイプ掲 載ページスイッチ126138170214238270306

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