真空供給用電磁弁真空エア真空破壊用エア真空エア真空破壊用エア真空エア真空破壊用エア真空破壊エア流量調整ニードル真空破壊用電磁弁センサユニット真空ポート真空エア真空破壊エア432ONOFFON■ 動作説明図①.真空供給用電磁弁OFF時(真空供給停止状態)②.真空供給用電磁弁ON時(真空供給状態)③.真空破壊用電磁弁ON時 (真空破壊エア供給)
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