446VZPVIP真空ポンプ対応ユニット真空パッド真空関連機器技術資料■ 回路図真空供給用パイロットバルブ真空破壊用パイロットバルブ真空供給用主弁真空破壊用主弁フィルタ破壊流量調整ニードルPVポートPSポートVポート■ 電気回路（電磁弁）617283945真空供給側コイル真空破壊側コイル真空供給側コイル真空破壊側コイル真空供給側コイル真空破壊側コイル真空供給側コイル真空破壊側コイルCOMMON+Vst 1st 2st 3st 49ピン25ピン14115216317451861972082192210231124122513真空供給側コイル真空破壊側コイル真空供給側コイル真空破壊側コイル真空供給側コイル真空破壊側コイル真空供給側コイル真空破壊側コイルCOMMONst 1st 2st 3st 4真空供給側コイル真空破壊側コイルst 5真空供給側コイル真空破壊側コイルst 6真空供給側コイル真空破壊側コイルst 7真空供給側コイル真空破壊側コイルst 8真空供給側コイル真空破壊側コイルst 9真空供給側コイル真空破壊側コイルst 10真空供給側コイル真空破壊側コイルst 11真空供給側コイル真空破壊側コイルst 12+V10ピン24681013579真空供給側コイル真空破壊側コイル真空供給側コイル真空破壊側コイル真空供給側コイル真空破壊側コイル真空供給側コイル真空破壊側コイルst 1st 2st 3st 4COMMON+V三角マーク表示位置(注) COMMON(+V)ピン No.9・10は内部で短絡。20ピン2468101357912141618201113151719真空供給側コイル真空破壊側コイル真空供給側コイル真空破壊側コイル真空供給側コイル真空破壊側コイル真空供給側コイル真空破壊側コイルst 1st 2st 3st 4真空供給側コイル真空破壊側コイルst 5真空供給側コイル真空破壊側コイル真空供給側コイル真空破壊側コイル真空供給側コイル真空破壊側コイル真空供給側コイル真空破壊側コイルst 6st 7st 8st 9COMMON+V三角マーク表示位置(注) COMMON(+V)ピン No.19・20は内部で短絡。26ピン2468101214161820222426135791113151719212325真空供給側コイル真空破壊側コイル真空供給側コイル真空破壊側コイル真空供給側コイル真空破壊側コイル真空供給側コイル真空破壊側コイルst 1st 2st 3st 4真空供給側コイル真空破壊側コイルst 5真空供給側コイル真空破壊側コイルst 6真空供給側コイル真空破壊側コイルst 7真空供給側コイル真空破壊側コイルst 8真空供給側コイル真空破壊側コイルst 9真空供給側コイル真空破壊側コイルst 10真空供給側コイル真空破壊側コイルst 11真空供給側コイル真空破壊側コイルst 12COMMON+V三角マーク表示位置(注) COMMON(+V)ピン No.25・26は内部で短絡。● Dサブコネクタ● フラットケーブルコネクタ真空供給用パイロットバルブ真空破壊用パイロットバルブ真空供給用主弁フィルタ真空破壊用主弁破壊流量調整ニードルPVポートPSポートVポート圧力センサ各種圧力センサ無しの場合圧力センサ付の場合
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