458VZPVIP真空ポンプ対応ユニット真空パッド真空関連機器技術資料ご使用の前に必ずお読みください。安全上のご注意、掲載商品の注意事項については、P.43〜P.49、真空の共通注意事項についてはP.55〜P.56、真空発生器 総合タイプの共通注意事項についてはP.123〜P.124、真空ポンプ対応ユニットの共通注意事項についてはP.365をそれぞれご確認ください。警 告1.各部のネジ締付けは適正トルクで締付けてください。電磁弁の締付けトルクは330ページの「7.マニホールドへの脱着方法」に記載しております。適正な締付けが行われない場合には、エア漏れ、製品の脱落、製品各部の破損の原因となります。注 意1.各ユニットをマニホールドへ搭載する際は、シール部の付着物を除去した後、ネジにより確実に固定してください。本文の使用上の注意をよく読んで理解してから行ってください。2. Dサブコネクタ、フラットケーブルコネクタの配線は本文の電気回路図をよく確認してから配線してください。3.使用条件により真空性能の低下またはトラブルの発生が考えられますので、本文のマニホールド使用上の注意をよく理解しご使用ください。 個別注意事項
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