真空ポンプ対応ユニットVQP
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100%50%③④⑤②①⑩⑥⑨⑦⑧100%50%③④⑤②①⑩⑥⑨⑦⑧③④⑤②①⑩⑥⑨⑦⑧100%50%42*1.外観仕様の寸法と質量は、単体タイプでの比較となります。 *2.各ユニット分解後、ノズルを交換*3.真空ポートのチューブを外した後、フィルタエレメントを交換 *4.固定ネジ:2本 *5.固定ネジ:6本 *6.固定ネジ:1本*7.機械式のエアブローと破壊エアの調整が可能。 *8.余剰真空破壊圧力を逃がす機能付き。*9.大気破壊弁搭載により、真空破壊時間を大幅に短縮。 *10.シングルノズルタイプ:オーソドックスな総合タイプ大流量真空発生器。2段ノズルタイプ:吸込流量が、従来のシングルノズルタイプと比べ約40%アップ。ツインノズルタイプ:消費流量を大幅に節約。*11.従来の流量調整に加えて、外部レギュレータにより圧力調整が可能になり、真空破壊エアの微調整が容易になりました。*12.タイプ覧の■の商品は、「銅系金属不使用」・「低濃度オゾン対策」を必要とする分野向に、オプションにて対応可能です。タイプVGVQVKVJVXVNVZ真空特性真空特性H:高真空中流量タイプ○○○○○○○L:中真空大流量タイプ○○○○○○○E:高真空少流量タイプ○○○○○○○D:2段ノズルタイプ-○-----T:ツインノズルタイプ-○-----ノズル径04:ø0.4mm-----○-05:ø0.5mm○-○○○○○06:ø0.6mm----○07:ø0.7mm○○○○○-○10:ø1.0mm○○○○○-○12:ø1.2mm-○○○---15:ø1.5mm-○-----20:ø2.0mm-○-----圧力センサ電子式圧力センサディスプレイ内蔵タイプ-1種類4種類2種類2種類-2種類ディスプレイ付連成圧タイプ------2種類スイッチのみタイプ3種類---1種類1種類3種類機械式圧力センサ--○----ソレノイド仕様真空発生用・真空破壊用バルブ○○○○○○○定格電圧/消費電力DC24V/1.2W、AC100V/1.5VADC24V/0.55W、AC100V/1VADC24V/0.8W、AC100V/1VADC24V/1.2W、AC100V/1.5VADC24V/1.2W、AC100V/1.5VADC24V/0.6WDC24V/0.55Wシステム設定エジェクタシステム対応ユニット(機種組合せ数)○(8)○(24)○(96)○(48)○(48)○(6)○(8)真空ポンプシステム対応ユニット(機種組合せ数)-------フィルタ表面積 (cm²)11.315.0811.311.35.02-7.06塵埃貯え可能容積 (cm³)1.46.93.13.50.7-0.6外観仕様外観寸法(幅(厚さ)×縦×横) (mm) (*¹)20 × 62.1 × 93.631.5 × 80 × 12016 × 75.3 × 124.520 × 67 × 139.210.5 × 61.5 × 115.510.3 × 53.9 × 82.910.5 × 70.4 × 119.8(1連時)質量 (max) (g) (*¹)128420170175.5845895(1連時)メンテナンス性ノズル交換△(*²)○○△(*²)△(*²)△(*²)○フィルタエレメント交換○○○○△(*3)○○マニホールドへの着脱--○(*4)△(*5)○(*6)○(*4)△(*4)その他 特記事項エジェクタシステム対応ユニットのノズルタイプは、3機種を標準化。(*10)エアタイマ式真空破壊バルブも用意。(*7)真空破壊回路にリリーフ機能付き。(*8)DINレール取付タイプも用意。真空破壊エア供給ポートを独立化。(*11)大気圧破壊弁を搭載。(*9)VXタイプ ・P.238VZタイプ ・P.306真空システムのハイサイクル化を実現。小型ワークに適した小型・軽量・高速応答真空発生器。真空破壊時間を大幅に短縮。小型ワークに最適なマニホールド専用真空発生器。VNタイプ ・P.270チップマウンタ、ハンドラーなどの半導体関連装置に最適な真空発生器。⑤:システム選定 ⑥:ソレノイド仕様 ⑦:圧力センサバリエーション ⑧:破壊流量 ⑨:破壊応答速度 ⑩:真空応答速度真空発生器真空ポンプ対応ユニット真空ポンプ真空パッド真空関連機器技術資料VXRadar chartVNRadar chartVZRadar chart

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