真空ポンプ対応ユニットVQP
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真空用機器の選定方法How to select Vacuum equipment37加圧源(20kPa)ノズル(ø0.25)AB3方弁試験配管FUS20真空源(-70kPa)応答の配管依存性吸引吸引リリース(ブロー)吸着時間(msec)配管B内に気体が充填される5.554.543.532.521.510100200300400500600700800900100011001200130014000.5アナログ電圧出力(V)配管B内から気体がぬけるA: ø4×40 B: ø4×40A: ø4×40 B: ø4×1000A: ø4×1000 B: ø4×400.5(ℓ/min)0(ℓ/min)0.5(ℓ/min)-0.3(ℓ/min)A-A断面ノズルワークコレットノズルAA1.応答時間について吸着確認時の応答時間は、配管の内容積や真空ポンプの排気能力等によって決まります。例えば、右図のような配管の場合の応答時間の配管依存性は下図のようになります。この結果より、応答時間を短くするためには、センサから吸着ノズルまでの配管内容積をできるだけ小さくすることが効果的です。2.コレットノズルについてコレットノズルは、吸着するワークをノズルと直接密着したくない場合によく用いられます。コレットノズルは、内部が角錐状になっており、ワークが吸着したときに、四隅に隙間ができる構造であるため、吸着時に漏れが発生します。コレットノズルとワークの隙間(有効断面積)に対して、配管(バルブ、継手などを含む)の有効断面積が小さいと、流量は配管の有効断面積で決まってしまい、吸着時と非吸着時の流量差が小さくなってしまいます。このような場合は、配管の有効断面積をコレットノズルとワークの隙間の有効断面積より極力大きくすることにより、確実に吸着確認ができるようになります。

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