真空ポンプ対応ユニットVQP
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364▲ 流量センサの選定方法P₂:真空P₁:大気圧吸着ノズルP₁:加圧P₂:大気圧P₁:加圧P₂:大気圧ピンホール吸着ノズルでの吸着・離脱確認、漏れ検査等で流量センサをご使用になる場合の、流量レンジの選定の目安にお役立てください。ノズル(ピンホール)の有効断面積とノズルの内外での圧力差により、流量を計算することができます。P₁≧1.89P₂(音速)の場合Q=113.2×S×P₁P₁<1.89P₂(亜音速)の場合Q=226.4×S× P₂(P₁-P₂)Q:流量 ℓ/P₁:1次側絶対圧力 MPaP₂:2次側絶対圧力 MPaS:ノズル(ピンホール)の有効断面積 ㎟●計算例ノズルの径がø0.1〜ø2でP₂を可変した場合の流量計算値を下表に示します。P1(MPa)絶対圧P1(MPa)ゲージ圧P2(MPa)絶対圧P2(MPa)ゲージ圧音速/亜音速流量計算値(ℓ/min[ANR])ø0.1ø0.2ø0.3ø0.4ø0.5ø0.7ø1ø1.5ø2吸引0.101300.0313-0.07音速0.0900.3600.8101.4402.2504.4119.00220.25436.0070.101300.0413-0.06音速0.0900.3600.8101.4402.2504.4119.00220.25436.0070.101300.0513-0.05音速0.0900.3600.8101.4402.2504.4119.00220.25436.0070.101300.0613-0.04亜音速0.0880.3520.7921.4082.2004.3128.80019.80135.2020.101300.0713-0.03亜音速0.0820.3290.7401.3152.0554.0288.22018.49432.8780.101300.0813-0.02亜音速0.0720.2870.6451.1471.7923.5127.16616.12528.6660.101300.0913-0.01亜音速0.0540.2150.4830.8591.3432.6315.37012.08321.480ブロー︵漏れ検査︶0.11130.010.10130亜音速0.0570.2260.5090.9051.4142.7725.65712.72722.6260.12130.020.10130亜音速0.0800.3200.7201.2802.0003.9208.00017.99931.9980.14130.040.10130亜音速0.1130.4531.0181.8102.8285.54311.31325.45445.2520.16130.060.10130亜音速0.1390.5541.2472.2173.4646.78913.85631.17555.4230.18130.080.10130亜音速0.1600.6401.4402.5604.0007.84015.99935.99863.9960.20130.10.10130音速0.1790.7161.6102.8624.4728.76517.88840.24871.5520.30130.20.10130音速0.2681.0712.4104.2846.69413.11926.77460.242107.0960.40130.30.10130音速0.3571.4263.2095.7068.91517.47435.66080.236142.6410.50130.40.10130音速0.4451.7824.0097.12711.13721.82844.547100.230178.1860.60130.50.10130音速0.5342.1374.8098.54913.35826.18253.433120.224213.731(注意)■配管等に漏れがある場合、計算値より実際に流れる流量が大きくなります。流量選定時には、配管の漏れ量を考慮してください。■配管途中で、吸着ノズル径よりも細い部分がある場合、流量が絞られてしまい、計算値より低い流量になることがあります。また、吸着確認等ができなくなるおそれがあります。■有効断面積は、あくまでも目安です。ノズルが細長い場合、有効断面積はノズルの開口面積よりも小さくなります。■応答速度は、流量センサから吸着ノズル(ピンホール)までの配管の内容積によって決まります。高速検知を行う場合は、吸着ノズルの近くに流量センサを配置するなど、極力配管の内容積を小さくしてください。真空発生器真空ポンプ対応ユニット真空ポンプ真空パッド真空関連機器技術資料

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