真空ポンプ対応ユニットVQP
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真空用機器の選定方法How to select Vacuum equipment29A.真空配管容積10.70.50.30.20.10.070.050.030.020.010.0070.0050.0030.0020.0010.00070.00050.1ø2ø2.5ø4ø5ø6ø6.5ø7.5ø8ø9ø11ø2.5ø9ø11ø130.20.30.50.71235710チューブ長L(m)配管容積V(ℓ)ø1①②真空制御機器選 定使用条件●配管容積 ├配管径 └配管長さ●供給圧力真空発生器●性能 └ノズル径真空ポンプユニット●性能 └有効断面積●共通性能 ├真空度 └吸込流量サイクル応答時間2▲ 真空発生器・真空ポンプ対応ユニットの選定●選定グラフからの選択方法■真空系チューブの配管容積を求める配管容積は、以下の表から求めることができます。選定グラフ3 チューブ内径別配管容積例▲チューブ内径ø2.5mm(チューブ外径ø4mm)、チューブ長さ2mのチューブの容積を求める場合。計算式による求め方3.1413.141V =−D² × L ×− = −× 2.5² × 2 ×− = 0.0098≒0.01(ℓ)4100041000真空発生器・真空ポンプ対応ユニットを選定する上で必要になる大きな項目(真空制御機器・サイクル・使用条件)が右のように3点上げられます。それを良く理解した上で真空発生器・真空切換弁の選定を行ってください。① 各使用条件の収集●計算式からの算出方法D:配管内径(mm)L:真空発生器および切換弁からパッドまでの長さ(m)V:真空発生器および切換弁からパッドまでの配管容積(ℓ)配管容積3.141V =−D2 × L ×−41000真空系の配管容積は、以下の式に数値を代入し算出することができます。B.真空制御機器の情報真空制御機器(真空発生器・真空ポンプ対応ユニット)の代表性能(情報)をここに記載してあります。(詳細情報は、カタログ本文の真空特性を参照ください。)●真空発生器(VH, VS, VU, VUM, VB, VC, VM)の場合ノズル径(mm)高真空度形タイプ:H大流量形タイプ:L低供給圧力高真空度形タイプ:E真空度(kPa)吸込流量(ℓ/min[ANR])真空度(kPa)吸込流量(ℓ/min[ANR])真空度(kPa)吸込流量(ℓ/min[ANR])0.3-902-664-8810.4-904-667 ~ 7.5-9020.5-907-6612-9030.7-92 ~ -9312.5 ~ 13-6618 ~ 26-90 ~ -929 ~ 10.51-9328-6642-92211.2-9338––-92271.5-9363-6695-92422-93110-66180-9284※1.供給圧力は、高真空度形(H)・大流量形(L)タイプ:0.5MPa、低供給圧力高真空度形(E)タイプ:0.35MPaとなります。※2.上記以外の真空発生器をご希望の場合は、カタログ本文をご覧ください。●真空ポンプ対応ユニットの場合タイプ有効断面積(mm²)真空供給用電磁弁VJPPVポートサイズø4mm3.5ø6mm5VXPPVポートサイズø4mm3.5ø6mm4.5VXPTPVポートサイズø4mm3ø6mm3.6VZP4.5VQP16.5VNP約0.9VIP約1※供給バルブ単品の有効断面積であり、製品としての数値ではありません。選定グラフによる求め方横軸チューブ長さ2mと、チューブ内径ø2.5mm(チューブ外径ø4mm)の線の交点より、左に延長し縦軸の配管容積≒0.01ℓが求められます。配管容積 ≒0.01ℓ真空特性一覧真空ポンプ対応ユニット供給弁有効断面積一覧

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