366VJPVQPVXPVNPVZPVIP真空ポンプ対応ユニット真空パッド真空関連機器技術資料大流量の真空圧力制御に最適な総合タイプ制御ユニット真空ポンプ対応ユニットVQP●大流量の制御に最適な31.5㎜幅の真空ポンプ対応ユニット。●真空供給用バルブタイプは、ノーマルクローズとノーマルオープンを用意。圧力センサには、見やすい2画面デジタル表示付圧力センサを用意。電源のマイナス側が共通の基準電位として使われる場合に、マイナスコモン仕様の選択が可能に。「銅系金属不使用」・「低濃度オゾン対策」を必要とする分野向けのタイプを用意。エア流路の金属部材質は銅系金属不使用、シールゴム及び可動部の潤滑は低濃度オゾン対策、超乾燥エア対策を考慮しました。●様々なニーズに対応すべく、豊富なバリエーション。（エジェクタタイプも用意。（P.138））
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