真空ポンプ対応ユニットVXP_VXPT
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402VZPVNPVXPVIP真空ポンプ対応ユニット真空パッド真空関連機器技術資料■ 構造図例).VXP-□□□-D24-D□(2ポート仕様単体タイプ 圧力センサ無し)⑥①例).VXP-□□□-D24(2ポート仕様単体タイプ 圧力センサ付)例).VXP□-□□□-□-M□(2ポート仕様マニホールドタイプ 圧力センサ無し)例).VXP□-□□□-□-D□-M□(2ポート仕様マニホールドタイプ 圧力センサ付)②③④⑤⑥①②③④⑤⑦ No. 品 名 ① 真空供給用パイロットバルブ ② コネクタ ③ 真空破壊用パイロットバルブ ④ バルブユニット ⑤ フィルタエレメント ⑥ 真空破壊エア流量調整ニードル⬅真空ポート真空供給ポート➡⬅真空ポート No. 品 名 ① 真空供給用パイロットバルブ ② コネクタ ③ 真空破壊用パイロットバルブ ④ バルブユニット ⑤ フィルタエレメント ⑥ 真空破壊エア流量調整ニードル ⑦ センサユニット⑥①②③④⑤⬅真空ポート真空供給ポート➡⑥⑦⬅真空ポート①②③④⑤真空供給ポート➡⬅パイロットエア供給ポート真空供給ポート➡⬅パイロットエア 供給ポート No. 品 名 ① 真空供給用パイロットバルブ ② コネクタ ③ 真空破壊用パイロットバルブ ④ バルブユニット ⑤ フィルタエレメント ⑥ 真空破壊エア流量調整ニードル No. 品 名 ① 真空供給用パイロットバルブ ② コネクタ ③ 真空破壊用パイロットバルブ ④ バルブユニット ⑤ フィルタエレメント ⑥ 真空破壊エア流量調整ニードル ⑦ センサユニット

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