418VZPVNPVXPVIP真空ポンプ対応ユニット真空パッド真空関連機器技術資料VXPT-M76.56約5002-L2(26.5)L12-C226.52-C22-L2796.440.530.5706C1約5002-øD2(パイロットエア供給ポート)マニホールド取付用穴(4箇所)34LED2-øD2(真空供給ポート)85.65.466.54-4.5真空供給用パイロットバルブマニュアルボタン18+11×n(n=連数)36+11×n(n=連数)11×n(n=連数)4-178øD1(真空ポート)ロックレバー固定ネジLED真空破壊用パイロットバルブマニュアルボタン真空破壊エア流量調整ニードルS1kPaMODESW1S2MESW2kPaMODESWMESWHYS109.56約500103.56約5003ポート仕様マニホールドタイプ適用チューブ外径(øD1)346C110.410.911.7L10.20.2-0.1単位：mm適用チューブ外径(øD2)46810C214.91718.220.7L23.58.19.613.2形 式VXPT-□□□-□-□-M□CADファイル名VVX-029, 030, 031, 032
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