403VQP 真空ポンプ対応ユニットSeries真空ポンプ対応ユニットVXP／VXPTVJPVXP真空ポンプ対応ユニット真空発生器真空ポンプ■ 構造図例）.VXPT-□□□-D24-D□（3ポート仕様単体タイプ 圧力センサ無し）⑥①例）.VXPT-□□□-D24（3ポート仕様単体タイプ 圧力センサ付）例）.VXPT-□□□-□-M□（3ポート仕様マニホールドタイプ 圧力センサ無し）例）.VXPT-□□□-□-D□-M□（3ポート仕様マニホールドタイプ 圧力センサ付）②③④⑤ No. 品 名 ① 真空供給用パイロットバルブ ② コネクタ ③ 真空破壊用パイロットバルブ ④ バルブユニット ⑤ フィルタエレメント ⑥ 真空破壊エア流量調整ニードル ⑦ バルブ用フィルタエレメント⬅真空ポート真空供給ポート➡ No. 品 名 ① 真空供給用パイロットバルブ ② コネクタ ③ 真空破壊用パイロットバルブ ④ バルブユニット ⑤ フィルタエレメント ⑥ 真空破壊エア流量調整ニードル ⑦ センサユニット ⑧ バルブ用フィルタエレメント⑥①②③④⑤⬅真空ポート真空供給ポート➡⑥⑦⬅真空ポート①②③④⑤真空供給ポート➡⬅パイロットエア供給ポート⬅パイロットエア 供給ポート No. 品 名 ① 真空供給用パイロットバルブ ② コネクタ ③ 真空破壊用パイロットバルブ ④ バルブユニット ⑤ フィルタエレメント ⑥ 真空破壊エア流量調整ニードル ⑦ バルブ用フィルタエレメント No. 品 名 ① 真空供給用パイロットバルブ ② コネクタ ③ 真空破壊用パイロットバルブ ④ バルブユニット ⑤ フィルタエレメント ⑥ 真空破壊エア流量調整ニードル ⑦ センサユニット ⑧ バルブ用フィルタエレメント⑦⑥①②③④⑤⬅真空ポート真空供給ポート➡⑧⑧⑦⑦
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