384VQP真空ポンプ対応ユニットVJPVXP・VXPTVNPVZPVIP真空関連機器真空発生器真空ポンプ真空ポンプ対応ユニット(OFF)(ON)PVV(OFF)(OFF)PVV(ON)(OFF)PSV(OFF)(ON)PVV(OFF)(OFF)(ON)(OFF)PSV例）VJPA-□□□-□□-□□-□ (バルブタイプ：ダブルソレノイドタイプ(保持型))①休止状態②真空発生時真空破壊流量調整ニードル真空切換用電磁弁リリーフ圧量調整用ニードル真空破壊用電磁弁真空切換用切換弁真空破壊用切換弁フィルタ圧力センサ③真空保持状態④真空破壊時真空切換用切換弁保持リリーフエア例）VJPB-□□□-□□-□□-□ (バルブタイプ：ノーマルクローズタイプ(常時閉))①休止状態②真空発生時真空破壊流量調整ニードル真空切換用電磁弁リリーフ圧量調整用ニードル真空破壊用電磁弁真空切換用切換弁真空破壊用切換弁フィルタ圧力センサ③真空保持状態④真空破壊時リリーフエア※）V：真空エア、PS：供給エア、PV：供給真空エア■ 動作説明図
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