真空パッド真空関連機器技術資料○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○○ーーーーーー○○ーーーーーーーーーー○○ーーーーーーーーーー○○ーーーーーーーーーー○○ーーーーーーーーーー○○ーーーーーーーーー○ーーーーーーーーーーー○ーーーーーー20ø0.7ø1ø1.5ø2ø3ø4ø6ø8ø10ø15ø20ø25ø30ø35ø40ø50ø60ø70ø80ø100ø150ø2002×43.5×74×104×204×305×105×205×306×106×206×308×208×30パッド径（㎜）スタンダード（P.500）スポンジ（P.546）一般形深 形小 型ねじ止め式真空取出口：上真空取出口：横真空取出口：上VPAEVPBEベローズ（P.570）多段ベローズ（P.606）パッド形状長 円（P.630）ソフトスプリング式真空取出口：横VPHCVPHD真空取出口：両横VPHDW（P.662）ソフトベローズ（P.702）滑り止め（P.738）薄 物（P.762）フラット（P.782）固定式真空取出口：横真空取出口：両横VPHEVPHEW吸着痕防止（P.806）
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