真空発生器VN
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)][i/5[i/5[i/5l( )aPk-( RNAnm)])aPk-( RNAnml( )]l( )aPk-( RNAnm量流度空真量流度空真量流度空真消費流量Eタイプ消費流量Hタイプ消費流量Eタイプ到達真空度■真空特性線図1009080706050403020100.20.30.4供給圧力 (MPa)1009080706050403020100.20.30.4供給圧力 (MPa)1009080706050403020100.20.30.4供給圧力 (MPa)252015100.5252015Hタイプ消費流量Eタイプ消費流量Hタイプ吸込流量100.5252015100.5到達真空度吸込流量Hタイプ到達真空度Eタイプ到達真空度Eタイプ吸込流量Hタイプ到達真空度Hタイプ吸込流量Eタイプ吸込流量VNE04VNH05VNE05VNH06VNE06285■ 特性

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