度空真→度空真→Max.0g7048.453.8●高速、かつ安定した応答性を実現。（ON/OFF＝5mｓｅｃ以下）ONONOFFOFF●チップマウンタ、ハンドラーなどの半導体関連装置に最適。●取付けスペースに制約のあるお客様に最適。 視認性の良いLED表示付圧力センサを新たにラインナップ。901020308070604050※）LED表示付圧力センサ、集中排気ポート部を除く。ソレノイドへの入力信号真空大気圧→時間応答時間のソレノイドへの入力信号→時間応答時間の真空大気圧小型・軽量。特に製品高さを抑えました。単体タイプ主弁に直動バルブを採用。マニホールドタイプ271真空発生器VNバラツキが大きいバラツキが小さい高速応答従来の真空発生器高速かつ安定した応答性を実現した総合タイプエジェクタ真空発生器VN
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