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真空発生器VZ
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■ マニホールド搭載バルブユニットの注文形式（例）VZVバルブユニットD①バルブタイプマニホールド専用真空発生器①.バルブタイプD24VZL①真空特性マニホールド専用真空発生器07②ノズル径6③真空ポートサイズS④圧力センサ仕様③.真空ポート(適用チューブサイズ)①.真空特性②.ノズル径④.圧力センサ仕様■ マニホールド搭載ユニット単体の注文形式（例）312VZ真空発生器真空ポンプ対応ユニット真空ポンプ真空パッド真空関連機器技術資料無記入ノーマルクローズタイプ（常時閉型）記 号タイプDダブルソレノイドタイプ（保持型）記 号サイズ(mm)記 号H4ø4 (ワンタッチ継手)性 能高真空度形（定格供給圧力：0.5MPa）記 号L性 能大流量形（定格供給圧力：0.5MPa）記 号E性 能低供給圧力高真空度形（定格供給圧力：0.35MPa）記 号サイズ(mm)6ø6 (ワンタッチ継手)記 号サイズ(mm)5M5×0.8 (メネジ)記 号仕 様記 号仕 様記 号仕 様記 号仕 様無記入圧力センサ無しDALED表示付1点スイッチ出力、アナログ出力付圧力センサV1負圧用アナログ出力付圧力センサR1連成圧（正・負圧）用アナログ出力付圧力センサDWLED表示付2点スイッチ出力付圧力センサS表示無し1点スイッチ出力付圧力センサV2分離型LED表示器＋負圧用アナログ出力付圧力センサR2分離型LED表示器＋連成圧用アナログ出力付圧力センサ記 号ノズル径（mm）HタイプLタイプEタイプ真空度（kPa）吸込流量（ℓ/min［ANR］）消費流量（ℓ/min［ANR］）真空度（kPa）吸込流量（ℓ/min［ANR］）消費流量（ℓ/min［ANR］）真空度（kPa）吸込流量（ℓ/min［ANR］）消費流量（ℓ/min［ANR］）05ø0.5-90.47〔7〕｛7｝11.5-66.512〔12〕｛12｝11.5-90.43〔3〕｛3｝807ø0.7-93.113〔13〕｛13｝23-66.523〔24〕｛24｝23-90.410.5〔10.5〕｛10.5｝1710ø1.0-93.124〔24〕｛24｝46ーーー-90.420〔20〕｛20｝34※. Hタイプ、Lタイプの供給圧力は0.5MPa、Eタイプの供給圧力は0.35MPaです。※.吸込流量は、左が真空ポートサイズ：M5×0.8（メネジ）、〔 〕内が真空ポートサイズ：ø4mm、｛ ｝内が真空ポートサイズ：ø6mmの時の数値となります。※.表中の数値は代表値です。吸込流量は真空配管条件（真空ポート径、配管長さ）により異なります。
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