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真空発生器VZ
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■ 特性Hタイプ到達真空度0.205101520–20–40–60–80–100–13–26–40–53–66–80–930.30.40.50.6供給圧力 (MPa)吸込流量 (l/min(ANR))到達真空度 (kPa)真空圧力 (kPa)流量 (l/min(ANR))VZH05, VZL05真空特性流量特性02010304050HタイプLタイプ供給圧力：0.5MPa (H, Lタイプ)Lタイプ到達真空度Hタイプ吸込流量Lタイプ吸込流量消費流量0.205101520–20–40–60–80–100–13–26–40–53–66–80–930.30.40.50.6供給圧力 (MPa)吸込流量 (l/min(ANR))到達真空度 (kPa)真空圧力 (kPa)流量 (l/min(ANR))VZH07, VZL07, VZE07真空特性流量特性02010304050HタイプEタイプLタイプ供給圧力：0.5MPa (H, Lタイプ)0.35MPa (Eタイプ)Hタイプ到達真空度Lタイプ到達真空度Hタイプ吸込流量Eタイプ吸込流量Lタイプ吸込流量消費流量Eタイプ到達真空度0.205101520–20–40–60–80–100–13–26–40–53–66–80–930.30.40.50.6供給圧力 (MPa)吸込流量 (l/min(ANR))到達真空度 (kPa)真空圧力 (kPa)流量 (l/min(ANR))VZH10, VZE10真空特性流量特性02010304050HタイプEタイプ供給圧力：0.5MPa (Hタイプ)0.35MPa (Eタイプ)Hタイプ到達真空度Hタイプ吸込流量Eタイプ吸込流量消費流量Eタイプ到達真空度320VZ真空発生器真空ポンプ対応ユニット真空ポンプ真空パッド真空関連機器技術資料供給圧力−到達真空度、吸込流量、消費流量
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